[發明專利]可調諧窄線寬深紫外激光器

在審

• 申請號: 201310346606.6
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN104348073A
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 王睿;滕浩;李德華;魏志義
• 申請（專利權）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: H01S3/094
• 分類號: H01S3/094;H01S3/10;H01S3/11;H01S3/109
• 代理公司: 北京泛華偉業知識產權代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇;王博

1.一種可調諧窄線寬深紫外激光器，包括：

一個泵浦激光器，用于提供泵浦激光；

第一分束鏡，用于將所述泵浦激光分成第一泵浦激光和第二泵浦激光；

脈沖式可調諧窄線寬振蕩器，包括第一鈦寶石晶體，所述第一泵浦激光入射到所述脈沖式可調諧窄線寬振蕩器中并輸出波長780nm-820nm的可調諧種子激光，所述可調諧種子激光比所述泵浦激光延時100-150ns；

多通放大器，包括第二鈦寶石晶體，所述第二泵浦激光入射到所述第二鈦寶石晶體，所述多通放大器用于將入射到多通放大器的可調諧種子激光進行功率放大輸出可調諧基頻激光；

頻率變換器，用于將所述可調諧基頻激光進行4倍頻得到波長為195nm-205nm的可調諧深紫外激光。

2.根據權利要求1所述的可調諧窄線寬深紫外激光器，其特征在于，所述脈沖式可調諧窄線寬振蕩器的增益腔長為120mm-300mm。

3.根據權利要求2所述的可調諧窄線寬深紫外激光器，其特征在于，所述脈沖式可調諧窄線寬振蕩器的增益腔長為160mm。

4.根據權利要求1所述的可調諧窄線寬深紫外激光器，其特征在于，所述泵浦激光的脈沖寬度為200ns。

5.根據權利要求1至4任一項所述的可調諧窄線寬深紫外激光器，其特征在于，所述多通放大器包括形成對稱“Z”型共焦結構的第一凹面全反射鏡、第二凹面全反射鏡、四個全反射鏡、第一平面全反射鏡和第二平面全反射鏡，第二鈦寶石晶體位于所述第一凹面全反射鏡和所述第二凹面全反射鏡對光線的匯聚焦點處，所述第一平面全反射鏡位于所述第二鈦寶石晶體和所述第一凹面全反射鏡的光路之間，所述第二平面全反射鏡位于所述第二鈦寶石晶體和所述第二凹面全反射鏡的光路之間。

6.根據權利要求5所述的可調諧窄線寬深紫外激光器，其特征在于，所述四個全反射鏡為四個全反射棱鏡。

7.根據權利要求5所述的可調諧窄線寬深紫外激光器，其特征在于，所述多通放大器為四通放大器。

8.根據權利要求7所述的可調諧窄線寬深紫外激光器，其特征在于，所述第一分束鏡將所述泵浦激光的20%反射成第一泵浦激光，并將所述泵浦激光的80%透射成第二泵浦激光。

9.根據權利要求1至4任一項所述的可調諧窄線寬深紫外激光器，其特征在于，所述頻率變換器包括：

二倍頻器，用于將第一部分所述可調諧的基頻激光二倍頻得到可調諧的二倍頻激光；

雙色鏡，用于將剩余的可調諧的基頻激光和所述可調諧的二倍頻激光分束在兩個不同的光路中；

第二分束鏡，用于將所述剩余的可調諧的基頻激光分成具有第二部分的可調諧的基頻激光和第三部分的可調諧的基頻激光；

半波片，用于將所述第二部分的可調諧的基頻激光的線偏振態旋轉90°；

第一光路合束裝置，用于將所述可調諧的二倍頻激光和所述線偏振態旋轉90°的可調諧的基頻激光匯合到相同的光路中；

三倍頻器，用于將所述可調諧的二倍頻激光和所述線偏振態旋轉90°的可調諧的基頻激光和頻得到可調諧的三倍頻激光；

第二光路合束裝置，用于將所述可調諧的三倍頻激光和第三部分的可調諧的基頻激光匯合到相同的光路中；

四倍頻器，用于將所述可調諧的三倍頻激光和第三部分的可調諧的基頻激光和頻得到可調諧的四倍頻激光。

10.根據權利要求1至4任一項所述的可調諧窄線寬深紫外激光器，其特征在于，所述第一鈦寶石晶體按照布魯斯特角切割，吸收系數為6.66，所述第二鈦寶石晶體按照布魯斯特角切割，吸收系數是4.3。

11.根據權利要求1至4任一項所述的可調諧窄線寬深紫外激光器，其特征在于，所述脈沖式可調諧窄線寬振蕩器為littman結構脈沖式可調諧窄線寬振蕩器。