[發(fā)明專利]一種立式晶圓形狀測量儀

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310345969.8
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN103389051A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 夏發(fā)平
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山允可精密工業(yè)技術(shù)有限公司
• 主分類號: G01B11/30
• 分類號: G01B11/30;G01B11/06
• 代理公司: 江蘇致邦律師事務(wù)所 32230
• 代理人: 謝偉

1.一種立式晶圓形狀測量儀，其特征在于，包括：

調(diào)整墊腳；

底座，所述的底座設(shè)在調(diào)整墊腳上；

平臺，所述的平臺設(shè)在底座上；

支撐座，所述的支撐座設(shè)在平臺上；

橫梁，所述的橫梁設(shè)在支撐座上；

軸系，所述的軸系包括X軸、Y軸、Z軸和旋轉(zhuǎn)軸；

所述的X軸設(shè)在橫梁上；

所述的Y軸設(shè)在平臺上，與X軸相互垂直；

所述的Z軸固定在X軸動板上、與X軸運動方向相互垂直，且其運動方向垂直于測量平臺；

所述的旋轉(zhuǎn)軸固定在Y軸動板上；

晶圓承載臺，所述的晶圓承載臺固定在旋轉(zhuǎn)軸上；

接觸式測頭，所述的接觸式測頭固定在Z軸動板上。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量儀，其特征在于，所述的接觸式測頭包括探針、彈性裝置、方形空氣導(dǎo)軌、空氣導(dǎo)軌進氣座、激光位移傳感器、頂板、光柵尺、空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭、測頭安裝座、測頭安裝底板和底板，所述的方形空氣導(dǎo)軌安裝在測頭安裝底板上，探針連接方形空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯的下端、貫穿底板，導(dǎo)芯下端與底板之間設(shè)有彈性裝置，空氣導(dǎo)軌進氣座設(shè)在方形空氣導(dǎo)軌的上方，激光位移傳感器設(shè)在空氣導(dǎo)軌進氣座的上方，與傳感器相連接的數(shù)據(jù)線貫穿頂板，光柵尺設(shè)置在激光位移傳感器的左側(cè)，空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭設(shè)在空氣導(dǎo)軌進氣座的左側(cè)、連接進氣座，測頭安裝座設(shè)在測頭安裝底板的左側(cè)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測量儀，其特征在于，所述的光柵尺平行安裝于激光位移傳感器。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測量儀，其特征在于，所述的彈性裝置為精密彈簧。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測量儀，其特征在于，所述方形空氣導(dǎo)軌的導(dǎo)芯內(nèi)部為空芯結(jié)構(gòu)，頂部連接方形導(dǎo)軌進氣座。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的測量儀，其特征在于，所述的方形導(dǎo)軌進氣座側(cè)面連接方形空氣導(dǎo)軌供氣接頭。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量儀，其特征在于，所述的晶圓承載臺包括承載臺安裝座、轉(zhuǎn)接板、調(diào)節(jié)螺釘、精密彈簧、吸氣孔氣管接頭、直角定位塊、吸附孔板和吸附槽板，所述的轉(zhuǎn)接板設(shè)在承載臺安裝座的上表面，吸附槽板設(shè)在轉(zhuǎn)接板的上方，吸附槽板與轉(zhuǎn)接板通過調(diào)節(jié)螺釘連接在一起，吸附槽板與轉(zhuǎn)接板之間設(shè)有精密彈簧，所述的吸附孔板設(shè)在吸附槽板的上表面，直角定位塊通過定位銷釘固定在吸附孔板的兩條直角邊上，所述轉(zhuǎn)接板上有若干個圓孔，在吸附槽板對應(yīng)轉(zhuǎn)接板上圓孔的位置設(shè)有吸氣孔氣管接頭。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測量儀，其特征在于，所述的平臺下設(shè)有滾輪。