[發(fā)明專利]一種表面高反薄板材厚度測(cè)量裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310345965.X
• 申請(qǐng)日: 2013-08-09
• 公開（公告）號(hào): CN103398664A
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 夏發(fā)平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山允可精密工業(yè)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01B11/06
• 分類號(hào): G01B11/06
• 代理公司: 江蘇致邦律師事務(wù)所 32230
• 代理人: 謝偉

1.一種表面高反薄板材厚度測(cè)量裝置，包括鋼架底座、平臺(tái)、工件承載臺(tái)、X軸、橫梁、上接觸式測(cè)頭、Z軸、Y軸、下接觸式測(cè)頭和下測(cè)頭安裝座，其特征在于，所述的平臺(tái)設(shè)在鋼架底座上，工件承載臺(tái)設(shè)在平臺(tái)上，Y軸固定在工件承載臺(tái)與平臺(tái)之間，橫梁固定在平臺(tái)上、與Y軸運(yùn)動(dòng)方向相互垂直，X軸固定在橫梁上，Z軸及其動(dòng)板設(shè)在橫梁的上橫條上，上接觸式測(cè)頭固定在Z軸動(dòng)板上，下接觸式測(cè)頭通過(guò)下測(cè)頭安裝座固定在橫梁的下橫條上；所述的接觸式測(cè)頭包括探針、彈性裝置、方形空氣導(dǎo)軌、空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座、激光位移傳感器、頂板、光柵尺、空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭、測(cè)頭安裝座、測(cè)頭安裝底板和底板，所述的方形空氣導(dǎo)軌安裝在測(cè)頭安裝底板上，探針連接方形空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯的下端、貫穿底板，導(dǎo)芯下端與底板之間設(shè)有彈性裝置，空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座設(shè)在方形空氣導(dǎo)軌的上方，激光位移傳感器設(shè)在空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座的上方，與傳感器相連接的數(shù)據(jù)線貫穿頂板，光柵尺設(shè)置在激光位移傳感器的左側(cè)，空氣導(dǎo)軌導(dǎo)芯供氣接頭設(shè)在空氣導(dǎo)軌進(jìn)氣座的左側(cè)、連接進(jìn)氣座，測(cè)頭安裝座設(shè)在測(cè)頭安裝底板的左側(cè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述的光柵尺平行安裝于激光位移傳感器。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述的彈性裝置為精密彈簧。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述方形空氣導(dǎo)軌的導(dǎo)芯內(nèi)部為空芯結(jié)構(gòu)，頂部連接方形導(dǎo)軌進(jìn)氣座。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的測(cè)量裝置，其特征在于，所述的方形導(dǎo)軌進(jìn)氣座側(cè)面連接方形空氣導(dǎo)軌供氣接頭。