[發明專利]一種顯影槽

無效

• 申請號: 201310345450.X
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN103472692A
• 公開（公告）日: 2013-12-25
• 發明（設計）人: 常平;張小光;竇友江
• 申請（專利權）人: 句容駿成電子有限公司
• 主分類號: G03F7/30
• 分類號: G03F7/30
• 代理公司: 南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204
• 代理人: 王云

技術領域

本發明涉及一種顯影槽，屬于信息顯示屏技術領域。?

背景技術

????現有技術中，在玻璃的ITO層上涂上一層光刻膠后，用紫外光通過預先制作好的電極圖形掩膜，照射光刻膠表面，使被照部分的光刻膠層發生反應。然后用顯影液處理玻璃表面，將經過光照分解的光刻膠層（正性膠）除去，保留未曝光部分的光刻膠層。顯影液的主要成分是KOH，呈弱堿性。當顯影液問題升高時，顯影液會對去除光刻膠部分的玻璃ITO造成腐蝕，從而造成缺劃不良。為避免造成缺劃，當溫度超高時，需停機等KOH達到設定溫度時方可生產，浪費生產效率。?

發明內容

????本發明所要解決的技術問題是提供一種顯影槽，有效解決了因顯影液溫度過高而導致的經常性停機問題。?

?????為解決上述技術問題，本發明所采用的技術方案為：?

一種顯影槽，包括沿顯影槽內周邊設置的鐵氟龍軟管，鐵氟龍軟管的兩頭部均伸出顯影槽，一頭為進水口，另一頭為出水口。

使用時，可將鐵氟龍軟管內通入冷卻水。?

????所述的鐵氟龍軟管沿顯影槽內周邊呈螺旋狀設置，起到了更好的冷卻效果。?

????所述的鐵氟龍軟管的長度為2.5-3m，保證了冷卻效果的同時，不影響產品的質量。?

????優選，所述的鐵氟龍軟管的長度為2.8m。?

????所述的鐵氟龍軟管的直徑為10-15mm，進一步保證了冷卻效果的同時，并不影響產品的質量。優選，所述的鐵氟龍軟管的直徑為13mm。?

所述的鐵氟龍軟管更優選設在顯影槽內高度方向上從下到上的二分之一到三分之二處。?

???上述顯影槽的應用，顯影槽的使用壓力為0.3MP。?

????本發明未特別說明的技術均為現有技術。?

本發明顯影槽可控制其內部的溫度在規定范圍內變動，避免了因顯影液溫度過高造成的停機浪費；裝置改進前每日需停機4-5次，每次停機20min；裝置改進后每日需停機0次，大大的提高了生產效率。?

附圖說明

圖1為本發明顯影槽結構示意圖；?

圖中，1為鐵氟龍軟管，2為進水口，3為出水口，4為顯影槽。?