[發(fā)明專利]非易失性半導體存儲裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310345442.5
• 申請日: 2013-08-09
• 公開（公告）號: CN103811063A
• 公開（公告）日: 2014-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 細野浩司;車野敏文
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社東芝
• 主分類號: G11C16/08
• 分類號: G11C16/08
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 劉薇;陳海紅

相關(guān)申請?

本申請基于日本專利申請2012-223507號（申請日：2012年10月5日）并享受其優(yōu)先權(quán)。本申請通過參照該在先申請而包含其全部內(nèi)容。?

技術(shù)領(lǐng)域

本實施方式涉及控制背柵極電壓的非易失性半導體存儲裝置。?

背景技術(shù)

近些年，已經(jīng)開發(fā)了層疊了存儲單元的層疊型半導體存儲器（BiCS：比特成本可擴展閃存）。該BiCS能夠以低成本實現(xiàn)大容量的半導體存儲器。?

發(fā)明內(nèi)容

提供一種抑制寫入干擾的非易失性半導體存儲裝置。?

根據(jù)實施方式的非易失性半導體存儲裝置包括：存儲單元陣列，其包含多個存儲串，其中，上述存儲串包括：第1存儲單元、第2存儲單元、第3存儲單元和第4存儲單元，其各自包含在半導體層上配置的且沿著與上述半導體層相對的法線方向延伸的第1柱形半導體和第2柱形半導體、隔著柵極絕緣膜以覆蓋上述第1和第2柱形半導體的順序形成的電荷積聚層以及控制柵極；以及第1晶體管，其在該第2存儲單元與上述第3存儲單元之間形成，并且在上述半導體層內(nèi)形成；電壓發(fā)生電路，其生成針對選擇字線的第1電壓、針對非選擇字線的第2電壓以及對上述第1晶體管的柵極施加的電壓；以及控制部，其進行控制，以使得在對與上述第1晶?體管相鄰的上述第2存儲單元或者上述第3存儲單元的上述控制柵極施加上述第1電壓的情況下，將比上述第2電壓大的第1控制電壓作為控制電壓施加在上述第1晶體管的上述柵極上，并且在對上述第1存儲單元或者上述第4存儲單元的上述控制柵極施加上述第1電壓的情況下，將大于等于上述第2電壓且比上述控制電壓小的第2控制電壓作為上述控制電壓施加在上述柵極上。?

附圖說明

圖1是第1實施方式所涉及的非易失性半導體存儲裝置的整體構(gòu)成例子。?

圖2是第1實施方式所涉及的存儲單元陣列的立體圖以及存儲單元的剖面圖。?

圖3是第1實施方式所涉及的存儲單元陣列的等效電路圖。?

圖4是表示第1實施方式所涉及的存儲單元的閾值分布的圖。?

圖5是表示第1實施方式所涉及的磁芯驅(qū)動器及其周邊電路的概念圖。?

圖6是第1實施方式所涉及的針對字線的施加電壓，圖6（a）是各字線與施加電壓的對應表，圖6（b）和圖6（c）是示意性地示出針對每個字線的施加電壓的大小的概念圖。?

圖7是表示第1實施方式所涉及的效果的實驗數(shù)據(jù)，圖7（a）是表示相對于施加電壓產(chǎn)生了閾值變化的存儲單元的數(shù)量的概念圖，圖7（b）是存儲串的剖面圖。?

圖8是第2實施方式所涉及的針對字線的施加電壓，圖8（a）是各字線與施加電壓的對應表，圖8（b）～圖8（d）是示意性地示出針對每個字線的施加電壓的大小的概念圖。?

圖9是第3實施方式所涉及的針對字線的施加電壓，圖9（a）是各字線與施加電壓的對應表，圖9（b）和圖9（c）是示意性地示出針對每個字線的施加電壓的大小的概念圖。?

圖10是第4實施方式所涉及的對字線的施加電壓，圖10（a）是各字?線與施加電壓的對應表，圖10（b）和圖10（c）是示意性地示出針對每個字線的施加電壓的大小的概念圖。?

圖11是第5實施方式所涉及的對字線的施加電壓，圖11（a）是各字線與施加電壓的對應表，圖11（b）～圖11（d）是示意性地示出針對每個字線的施加電壓的大小的概念圖。?

圖12是第6實施方式所涉及的對字線的施加電壓，圖12（a）是各字線與施加電壓的對應表，圖12（b）～圖12（c）是示意性地示出針對每個字線的施加電壓的大小的概念圖。?

圖13是第7實施方式所涉及的對字線的施加電壓，圖13（a）是各字線與施加電壓的對應表，圖13（b）～圖13（d）是示意性地示出針對每個字線的施加電壓的大小的概念圖。?

圖14是第8實施方式所涉及的對字線的施加電壓，圖14（a）是各字線與施加電壓的對應表，圖14（b）～圖14（d）是示意性地示出針對每個字線的施加電壓的大小的概念圖。?

圖15是第9實施方式所涉及的對字線的施加電壓，圖15（a）是各字線與施加電壓的對應表，圖15（b）～圖15（d）是示意性地示出針對每個字線的施加電壓的大小的概念圖。?

圖16是第10實施方式所涉及的對字線的施加電壓，圖16（a）是各字線與施加電壓的對應表，圖16（b）和圖16（c）是示意性地示出針對每個字線的施加電壓的大小的概念圖。?