[發明專利]以工業合成氯化氫為原料制備電子級高純氯化氫的方法有效
| 申請號: | 201310345190.6 | 申請日: | 2013-08-09 |
| 公開(公告)號: | CN103387211A | 公開(公告)日: | 2013-11-13 |
| 發明(設計)人: | 盧孔燎;鄭琪;章意堅 | 申請(專利權)人: | 杭州電化集團有限公司 |
| 主分類號: | C01B7/07 | 分類號: | C01B7/07 |
| 代理公司: | 杭州裕陽專利事務所(普通合伙) 33221 | 代理人: | 冉國政 |
| 地址: | 311228 浙江省杭州*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 工業 合成 氯化氫 原料 制備 電子 高純 方法 | ||
1.一種以工業合成氯化氫為原料制備電子級高純氯化氫的方法,其特征在于,包括以下步驟:
a.原料工業氯化氫經過濾壓縮后,從裝有干燥劑的一級干燥塔底部進入,經吸附脫除大部分水分后從塔頂出來;?
b.再進入裝有干燥劑的二級干燥塔底部,經深度脫水,脫除微量水分后從塔頂出來,脫除后氯化氫中的水分含量小于0.5ppm;?
c.然后從裝有吸附劑的吸附塔底部進入,吸附脫除二氧化碳和極微量水分后從塔頂出來,吸附后二氧化碳含量小于2ppm;
d.加壓,冷凝后進入脫輕精餾塔,氮氣,氧氣,氫氣,一氧化碳,甲烷等低沸點氣體從塔頂排出,形成尾氣并回收,脫除后氮氣含量小于2ppm,氧氣含量小于1ppm,一氧化碳含量小于1ppm,甲烷小于1ppm,氫氣含量小于0.2ppm;
e.從脫輕精餾塔塔底出來的氯化氫液體再進入脫重精餾塔,汽化脫除比氯化氫重的高沸點組分和大部分金屬離子;
f.從脫重精餾塔塔頂出來的高純氯化氫純度達到99.999%以上,經壓縮灌裝系統裝瓶,裝瓶后的高純氯化氫,金屬離子總含量小于0.3ppm。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟b之后還設置有多級物理干燥。
3.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟a和步驟b中的干燥劑為沸石分子篩。
4.根據權利要求2所述的方法,其特征在于,步驟a和步驟b中的干燥劑為13X沸石分子篩。
5.根據權利要求1所述的方法,其特征在于,步驟c中的吸附劑為沸石分子篩。
6.根據權利要求4所述的方法,其特征在于,步驟c中的吸附劑為SSZ-13沸石分子篩。
7.根據權利要求1-6任意一項所述的方法,其特征在于,步驟a和步驟b中的干燥劑,步驟c中的吸附劑均經過200℃高溫氯氣處理兩個小時。
8.根據權利要求7所述的方法,其特征在于,步驟a中原料工業合成氯化氫經過濾壓縮后,在0.3-0.6MP的壓力和常溫下,以1-5M3/h的流量進入一級干燥塔。
9.根據權利要求7所述的方法,其特征在于,步驟d中氯化氫從吸附塔中出來后,壓縮至1.5-2.5MP,冷卻至-15℃--25℃。
10.根據權利要求9所述的方法,其特征在于,步驟d中氯化氫從吸附塔中出來后,壓縮至2.0MP,冷卻至-20℃。
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