[發明專利]靶材矯正裝置

有效

• 申請號: 201310340541.4
• 申請日: 2013-08-06
• 公開（公告）號: CN104338802A
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;李健成;高建
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B21D1/06
• 分類號: B21D1/06
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 張亞利;駱蘇華

技術領域

本發明涉及一種機械領域，尤其涉及一種靶材矯正裝置。

背景技術

靶材是制造半導體芯片所必需的一種材料，應用于物理氣相沉積技術（PVD），具體為：用高壓加速氣態離子轟擊靶材，使靶材的原子被濺射出，以薄膜的形式沉積到硅片上，最終形成半導體芯片中復雜的配線結構。

現有技術中，許多大型靶材是由若干個小型靶材或中型靶材焊接而成，焊接形成的大型靶材會變形，大型靶材的變形處的表面會向上拱起，平整度不符合濺射工藝的要求。因此，現有技術中，參考圖1，焊接形成大型靶材后，操作人員會用C型鉗將大型靶材的變形處夾平，以矯正大型靶材的不平整度，從而使大型靶材的平整度符合濺射要求。

操作人員采用C型鉗矯正大型靶材變形處的方法效率低下，而且，操作人員的體力消耗比較大。

發明內容

本發明解決的問題是：現有技術中，采用C型鉗矯正大型靶材變形處的方法效率低下，而且，操作人員的體力消耗比較大。

為解決上述問題，本發明提供了一種靶材矯正裝置，包括：

機架，所述機架具有懸掛梁、與所述懸掛梁相對設置的支撐臺，連接所述懸掛梁和所述支撐臺的支撐桿，所述懸掛梁和所述支撐臺之間具有間隔，所述支撐臺用于放置靶材；

液壓缸或氣壓缸，懸掛于所述懸掛梁，可沿所述懸掛梁移動，所述液壓缸或氣壓缸的活塞桿的移動方向垂直于所述懸掛梁，所述活塞桿用于對所述靶材表面施加壓力；

可控制所述活塞桿移動的壓力站，與所述液壓缸或氣壓缸連接。

可選的，所述壓力站包括：儲液罐或儲氣罐；

所述儲液罐通過管道與所述液壓缸連接；所述儲氣罐通過管道與所述氣壓缸連接；

所述壓力站還包括：與所述儲液罐或儲氣罐連接的操作桿，通過操作所述操作桿以控制所述儲液罐或儲氣罐中的氣壓。

可選的，所述液壓缸為油頂。

可選的，所述氣壓缸為氣壓頂。

可選的，所述靶材矯正裝置還包括：套設于所述懸掛梁上的第一方形框和第二方形框，所述第一方形框和第二方形框平行且具有間隔；

所述液壓缸或氣壓缸位于所述間隔，通過所述第一方形框、第二方形框懸掛于所述懸掛梁；

所述懸掛梁在長度方向的兩側具有軌道，所述軌道上設置有滾輪，且所述滾輪位于所述第一方形框、第二方形框和懸掛梁之間，所述滾輪和所述第一方形框、第二方形框可轉動連接，所述滾輪和所述懸掛梁可轉動連接。

可選的，所述液壓缸或氣壓缸包括缸筒、與所述缸筒底部連接的連接部，所述連接部在垂直于活塞桿方向延伸出缸筒筒壁；

所述連接部一側卡設于所述懸掛梁的底面和第一方形框之間，所述連接部的另一側卡設于所述懸掛梁的底面和第二方形框之間。

可選的，所述機架還包括底座，所述支撐桿、懸掛梁和支撐臺位于所述底座上，所述底座底部具有滾輪。

與現有技術相比，本發明的技術方案具有以下優點：

采用靶材矯正裝置對放置在支撐臺上的靶材的變形處進行矯正時，操作人員只需要用較小的力氣控制壓力站，壓力站控制活塞桿對靶材的變形處施加壓力，以實現對靶材變形處的矯正。而且靶材矯正裝置的活塞桿對靶材的變形處施加的壓力較大，在不破壞靶材的前提下，使靶材的變形處變平整，而且變平整處的回彈性較小，從而減少了矯正靶材變形的次數，減少了矯正靶材變形的時間，提高了矯正效率。而且，操作人員不需要長時間的手握C型鉗、長時間的施力來矯正靶材的變形處，因此，靶材矯正裝置節省了操作人員的體力。

另外，本技術方案的靶材矯正裝置部件組成簡單，容易操作。

附圖說明

圖1是現有技術中C型鉗對大型靶材變進行矯正時的立體示意圖；

圖2是本發明的具體實施例的靶材矯正裝置的立體示意圖；

圖3是本發明的具體實施例的靶材矯正裝置矯正靶材時的立體示意圖；

圖4是槽鋼的立體示意圖；

圖5是圖3中的靶材矯正裝置矯正較小變形處時的局部放大示意圖；

圖6是圖3中的靶材矯正裝置矯正較大變形處時的局部放大示意圖。

具體實施方式

參考圖1，現有技術中，操作人員采用C型鉗矯正大型靶材變形處的方法效率低下，而且，操作人員的體力消耗比較大的原因為：