[發(fā)明專利]熱對流式線性加速儀

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310339586.X
• 申請日: 2013-08-06
• 公開（公告）號: CN104237558A
• 公開（公告）日: 2014-12-24
• 發(fā)明（設計）人: 林君明
• 申請（專利權）人: 中華大學
• 主分類號: G01P15/12
• 分類號: G01P15/12;G01P15/18
• 代理公司: 隆天國際知識產(chǎn)權代理有限公司 72003
• 代理人: 趙根喜;李昕巍

技術領域

本發(fā)明涉及一種熱對流式線性加速儀。

背景技術

美國專利公告號第6,182,509號公開一種熱對流型線性加速儀(Thermal?Convection?Accelerometer)。該熱對流型加速儀包含一絕熱基板、一加熱器和兩個溫度感測元件。絕熱基板具一凹槽，加熱器與兩個溫度感測元件懸置于凹槽上，且兩個溫度感測元件分別等距置放于加熱器的相對兩側。

為形成懸置的加熱器與兩個溫度感測元件，首先在絕熱基板上形成二氧化硅層。然后，在二氧化硅層上形成一多晶硅層。之后，進行氧化工藝，在多晶硅層上形成另一氧化層。接著，圖案化該多晶硅層，以獲得3條多晶硅橋梁(Polysilicon?Bridge)。然后，再次進行氧化工藝，以在多晶硅橋梁的側邊形成氧化層。之后，絕熱基板以EDP(乙二胺(Ethylenediamine)、兒茶酚(Pyrocatechol)和水的混合物)蝕刻出深凹槽。

在前述的熱對流型線性加速儀中，電流通過加熱器，以產(chǎn)生向外擴展的對稱溫度梯度。當前述的熱對流型線性加速儀承受加速度時，兩溫度感測元件會因感測到不同的溫度，而表現(xiàn)出不同的電阻值。通過測量電阻值的差異，可推算出線性加速度。

然而現(xiàn)有的熱對流型線性加速儀反應速度慢，仍不夠靈敏。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術中存在的問題，本發(fā)明的目的在于提供一種對流式線性加速儀。

本發(fā)明一實施例的熱對流式線性加速儀包含一底材及一第一感測計。第一感測計包含兩第一溫度感測元件及一第一加熱器。兩第一溫度感測元件設置在該底材上。第一加熱器設置在該底材上。第一加熱器并位于兩第一溫度感測元件之間。兩第一溫度感測元件中至少一者距該底材的高度，大于第一加熱器距該底材的高度。

在一實施例中，兩第一溫度感測元件具有相同的高度。

在一實施例中，兩第一溫度感測元件中至少一者距該底材的高度是介于0.5至2毫米。

在一實施例中，第一加熱器及兩第一溫度感測元件，均整個位在該底材的一表面上。

本發(fā)明的有益效果在于，由于溫度感測元件及加熱器的高度不同，溫度感測元件在熱對流式線性加速儀承受線性加速度時，可較敏銳地感測到其附近溫度的變化。

附圖說明

圖1為本發(fā)明一實施例的熱對流式線性加速度測量系統(tǒng)的示意圖。

圖2A為本發(fā)明一實施例的感測計的示意圖。

圖2B為沿圖2A的剖面線2-2的剖視圖。

圖3為本發(fā)明另一實施例的感測計的示意圖。

圖4A為本發(fā)明另一實施例的熱對流式線性加速儀的示意圖。

圖4B為沿圖4A的剖面線4-4的剖視圖。

圖5A為本發(fā)明一實施例的熱對流式線性加速儀的無線射頻識別標簽的示意圖。

圖5B為沿圖5A的剖面線5-5的剖視圖。

圖6例示本發(fā)明另一實施例的熱對流式線性加速儀的感測計。

圖7為本發(fā)明另一實施例的熱對流式線性加速儀的示意圖。

圖8為本發(fā)明一實施例的熱對流式線性加速儀的電路圖。

其中，附圖標記說明如下：

1??熱對流式線性加速度測量系統(tǒng)

11??讀取設備

12??熱對流式線性加速儀

12'?熱對流式線性加速儀

12''?熱對流式線性加速儀

12'''?熱對流式線性加速儀

13??X軸線性加速度感測計

14??Y軸線性加速度感測計

15??Z軸線性加速度感測計

16??無線射頻識別標簽

20、20a、20b??感測計

21??底材

21'?底材

22、22'?蓋體

23??膠

24??金屬線

51??晶片

60??底材

61??連接器

62??電阻

63??電容

64??電池

81、82??串聯(lián)接點

111??發(fā)送器/接收器

112??天線

113??監(jiān)控設備

161??調制器

162??整流器

163??微處理器

164??天線

201??加熱器

202??溫度感測元件

203??支撐溫度感測的元件

210??基材