[發明專利]具有導熱裝置的坩堝

有效

• 申請號: 201310335428.7
• 申請日: 2013-08-02
• 公開（公告）號: CN103388123A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 鄒清華
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/26
• 分類號: C23C14/26;C23C14/12
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂

1.一種具有導熱裝置的坩堝，其特征在于，包括：坩堝本體（2）及設置于坩堝本體（2）內的導熱裝置（4），所述導熱裝置（4）呈樹狀，其包括散熱主干（42）及設于散熱主干（42）上的數層散熱枝干（44），每層散熱枝干（44）包括數個枝干單元（442），所述枝干單元（442）由所述散熱主干（42）的外表面向外延伸設置。

2.如權利要求1所述的具有導熱裝置的坩堝，其特征在于，所述散熱主干（42）為一根圓柱狀散熱桿，其與所述坩堝本體（2）的主軸大體平行。

3.如權利要求2所述的具有導熱裝置的坩堝，其特征在于，所述散熱枝干（44）垂直于所述散熱主干（42）。

4.如權利要求2所述的具有導熱裝置的坩堝，其特征在于，所述散熱枝干（44’’）由所述散熱主干（42）的外表面傾斜向上延伸設置。

5.如權利要求2所述的具有導熱裝置的坩堝，其特征在于，所述散熱枝干（44’’’）由所述散熱主干（42）的外表面傾斜向下延伸設置。

6.如權利要求1所述的具有導熱裝置的坩堝，其特征在于，所述散熱主干（42’）包括至少兩根圓柱狀散熱桿，該些散熱桿通過數個連接桿連接在一起，并與所述坩堝本體（2）的主軸大體平行。

7.如權利要求6所述的具有導熱裝置的坩堝，其特征在于，所述枝干單元（442）上還設有數個枝干分枝（444），所述枝干分枝（444）由所述枝干單元（442）的外表面向外延伸設置。

8.如權利要求7所述的具有導熱裝置的坩堝，其特征在于，所述枝干單元（442）與所述枝干分枝（444）由金屬材料一體成型制成，或分別由金屬材料制成，再通過焊接方式連接在一起。

9.如權利要求1所述的具有導熱裝置的坩堝，其特征在于，所述導熱裝置（4）由金屬材料一體成型制成。

10.如權利要求1所述的具有導熱裝置的坩堝，其特征在于，所述散熱主干（42）與散熱枝干（44）分別由金屬材料制成，并通過焊接方式連接在一起。