[發明專利]具指插式彈簧的微機電裝置

有效

• 申請號: 201310334370.4
• 申請日: 2013-08-02
• 公開（公告）號: CN104016295A
• 公開（公告）日: 2014-09-03
• 發明（設計）人: 林士杰;黃肇達;蘇中源;許郁文
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: B81B5/00
• 分類號: B81B5/00;B81B7/00;G01P15/14;G01C19/56
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 祁建國;梁揮

1.一種具指插式彈簧的微機電裝置，適用于感測加速度，其特征在于，包括：

基板；

第一質量塊；

移動電極，沿第一軸向配置在該第一質量塊上；

固定電極，沿該第一軸向配置在該基板上，且該移動電極與該固定電極之間具有臨界間隙；

固定座；以及

指插式彈簧，沿該第一軸向連接該第一質量塊與該固定座，該指插式彈簧包含:

多個第一折疊部，其中每一該第一折疊部包含二個第一延展部及一第一頭部用以連接該二個第一延展部；

多個第一連接部，其中每一該第一連接部分別連接兩相鄰的該第一折疊部的該第一延展部以界定第一空間；

多個第二折疊部，其中每一該第二折疊部包含二個第二延展部及一第二頭部用以連接該二個第二延展部；以及

多個第二連接部，其中每一該第二連接部分別連接兩相鄰的該第二折疊部的該第二延展部以界定第二空間；

其中至少一該第一折疊部設置于該第二空間且至少一該第二折疊部設置于該第一空間；該第一延展部的寬度大于該臨界間隙且該第二延展部的寬度大于該臨界間隙。

2.如權利要求1所述的具指插式彈簧的微機電裝置，其特征在于，還包括至少一橋接元件，連接該第一延展部與該第二延展部。

3.如權利要求2所述的具指插式彈簧的微機電裝置，其特征在于，該橋接元件包括第一橋接元件，該第一橋接元件連接該第一延展部靠近第一連接部的部分以及該第二延展部靠近第二頭部的部分。

4.如權利要求3所述的具指插式彈簧的微機電裝置，其特征在于，該橋接元件還包括第二橋接元件，該第二橋接元件連接該第一延展部靠近第一頭部的部分以及該第二延展部靠近第二連接部的部分。

5.如權利要求4所述的具指插式彈簧的微機電裝置，其特征在于，該第一橋接元件的配置與該第二橋接元件的配置為原點對稱。

6.一種具指插式彈簧的微機電裝置，適用于感測角速度，其特征在于，包括：

基板；

第一質量塊；

第二質量塊，連接該第一質量塊；

移動電極，沿第二軸向配置在該第二質量塊上；

固定電極，沿該第二軸向配置在該基板上，且該移動電極與該固定電極之間具有臨界間隙；

固定座；以及

第一指插式彈簧，沿該第二軸向連接該第二質量塊與該固定座，該第一指插式彈簧包含:

多個第一折疊部，其中每一該第一折疊部包含二個第一延展部及一第一頭部用以連接該二個第一延展部；

多個第一連接部，其中每一該第一連接部分別連接兩相鄰的該第一折疊部的該第一延展部以界定第一空間；

多個第二折疊部，其中每一該第二折疊部包含二個第二延展部及一第二頭部用以連接該二個第二延展部；以及

多個第二連接部，其中每一該第二連接部分別連接兩相鄰的該第二折疊部的該第二延展部以界定第二空間；

其中至少一該第一折疊部設置于該第二空間且至少一該第二折疊部設置于該第一空間；該第一延展部的寬度大于該臨界間隙且該第二延展部的寬度大于該臨界間隙。

7.如權利要求6所述的具指插式彈簧的微機電裝置，其特征在于，該第一延展部的寬度大于共振彈簧寬度且該第二延展部的寬度大于共振彈簧寬度。

8.如權利要求6所述的具指插式彈簧的微機電裝置，其特征在于，還包括至少一橋接元件，連接該第一延展部與該第二延展部。

9.如權利要求8所述的具指插式彈簧的微機電裝置，其特征在于，該橋接元件包括第一橋接元件，該第一橋接元件連接該第一延展部靠近第一連接部的部分以及該第二延展部靠近第二頭部的部分。

10.如權利要求9所述的具指插式彈簧的微機電裝置，其特征在于，該橋接元件還包括第二橋接元件，該第二橋接元件連接該第一延展部靠近第一頭部的部分以及該第二延展部靠近第二連接部的部分。

11.如權利要求10所述的具指插式彈簧的微機電裝置，其特征在于，該第一橋接元件的配置與該第二橋接元件的配置為原點對稱。

12.如權利要求6所述的具指插式彈簧的微機電裝置，其特征在于，還包括第二指插式彈簧，沿該第一軸向連接該第一質量塊與該第二質量塊，其中該第二質量塊為一框架。