[發(fā)明專(zhuān)利]一種使用金屬液滴簾降低碎屑的方法和裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310334223.7
• 申請(qǐng)日: 2013-08-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103354694A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-10-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王宇;謝婉露;吳曉斌;張羅莎;陳進(jìn)新;王魁波;羅艷
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院光電研究院
• 主分類(lèi)號(hào): H05G2/00
• 分類(lèi)號(hào): H05G2/00
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 宋焰琴

1.一種降低碎屑的方法，其特征在于：在碎屑傳播路徑上設(shè)置流動(dòng)的金屬液體，使該金屬液體阻止碎屑的運(yùn)動(dòng)并帶走碎屑。

2.如權(quán)利要求1所述的降低碎屑的方法，其特征在于：所述碎屑是由EUV輻照源(3)輻射出EUV光(6)時(shí)產(chǎn)生的作為污染物的碎屑(7)，所述流動(dòng)的金屬液體是金屬液滴簾，該金屬液滴簾能透過(guò)所述EUV光(6)。

3.如權(quán)利要求2所述的降低碎屑的方法，其特征在于：所述金屬液滴簾包括從上至下運(yùn)動(dòng)的多條金屬液滴串，每條金屬液滴串由具有一定間隔的金屬液滴組成。

4.一種降低碎屑的裝置，其特征在于：包括金屬液滴產(chǎn)生裝置(10)，其具有開(kāi)口豎直向下的多個(gè)噴射口，每個(gè)噴射口可以噴射出具有一定間隔的金屬液滴組成的金屬液滴串，從而，當(dāng)所有噴射口都噴射出金屬液滴串時(shí)，各金屬液滴串共同構(gòu)成一個(gè)金屬液滴簾(12)。

5.如權(quán)利要求4所述的降低碎屑的裝置，其特征在于：還包括金屬液滴收集裝置(11)，其位于所述金屬液滴產(chǎn)生裝置(10)的正下方，并且具有一個(gè)正對(duì)所述金屬液滴簾(12)的液滴入口，使得所述金屬液滴簾(12)流入該液滴入口后被收集。

6.如權(quán)利要求5所述的降低碎屑的裝置，其特征在于：該降低碎屑的裝置是一個(gè)碎屑收集器(4)，其安裝于一個(gè)EUV光源系統(tǒng)(1)中，該EUV光源系統(tǒng)(1)包括EUV輻照源(3)和光學(xué)系統(tǒng)(5)，由該EUV輻照源(3)輻射出的EUV光由光學(xué)系統(tǒng)(5)會(huì)聚在位于光軸(8)上的中間焦點(diǎn)(9)，所述碎屑收集器(4)位于所述EUV輻照源(3)和光學(xué)系統(tǒng)(5)之間。

7.如權(quán)利要求6所述的降低碎屑的裝置，其特征在于：所述碎屑收集器(4)到所述EUV輻照源(3)之間的距離d滿足D＞2dtan(θ/2)，其中D為金屬液滴簾(12)的寬度，θ為所述光學(xué)系統(tǒng)(5)的光束收集全角。

8.如權(quán)利要求4至7中任一項(xiàng)所述的降低碎屑的裝置，其特征在于：所述金屬液滴產(chǎn)生裝置(10)包括轉(zhuǎn)輪(23)，當(dāng)該轉(zhuǎn)輪(23)高速轉(zhuǎn)動(dòng)且液體金屬物料(25)流至轉(zhuǎn)輪(23)的側(cè)面時(shí)，該液體金屬物料(25)能夠被該轉(zhuǎn)輪(23)加速并從轉(zhuǎn)輪(23)的切向出射，形成具有空間陣列式分布的金屬液滴陣列。

9.如權(quán)利要求8所述的降低碎屑的裝置，其特征在于：所述金屬液滴產(chǎn)生裝置(10)還包括用于存儲(chǔ)液體金屬物料(25)的儲(chǔ)料箱，其底部與多個(gè)平行排列的進(jìn)料管(22)連通，以使所存儲(chǔ)的該液體金屬物料(25)能通過(guò)所述多個(gè)平行排列的進(jìn)料管(22)流至所述高速轉(zhuǎn)輪(23)的側(cè)面，所述進(jìn)料管(22)的出液口位于所述轉(zhuǎn)輪(23)的偏心位置。

10.如權(quán)利要求8所述的降低碎屑的裝置，其特征在于：所述轉(zhuǎn)輪(23)由電機(jī)(24)帶動(dòng)。