[發(fā)明專利]一種晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理系統(tǒng)及其處理方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310333580.1
• 申請(qǐng)日: 2013-08-02
• 公開（公告）號(hào): CN103425066A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊習(xí)剛;陳毅俊;朱秋龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): G05B19/04
• 分類號(hào): G05B19/04;H01L21/67
• 代理公司: 上海申新律師事務(wù)所 31272
• 代理人: 竺路玲

1.一種晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理系統(tǒng)，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)和設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)中，其特征在于，包括：批量作業(yè)組建模塊，分別與所述批量作業(yè)組建模塊相連的晶圓組集合模塊、批量作業(yè)動(dòng)態(tài)更新模塊，與所述晶圓組集合模塊相連的批量作業(yè)狀態(tài)判斷模塊，以及分別與所述批量作業(yè)組建模塊、所述批量作業(yè)狀態(tài)判斷模塊相連的作業(yè)結(jié)果反饋模塊；

所述批量作業(yè)組建模塊用于組建本次批量作業(yè)；

所述晶圓組集合模塊用于集合所述本次批量作業(yè)的晶圓組；

所述批量作業(yè)狀態(tài)判斷模塊用于判斷本次批量作業(yè)的晶圓組集合完成狀態(tài)和前次批量作業(yè)的完成狀態(tài)；

所述作業(yè)結(jié)果反饋模塊用于在所述前次批量作業(yè)完成后，將所述前次批量作業(yè)的作業(yè)結(jié)果反饋給所述批量作業(yè)組建模塊，使得所述本次批量作業(yè)開始或撤銷；

所述批量作業(yè)動(dòng)態(tài)更新模塊用于在所述前次批量作業(yè)完成前，動(dòng)態(tài)更新所述批量作業(yè)組建模塊組建的本次批量作業(yè)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理系統(tǒng)，其特征在于，所述批量作業(yè)狀態(tài)判斷模塊還包括本次批量作業(yè)晶圓組集合完成狀態(tài)判斷子模塊和前次批量作業(yè)完成狀態(tài)判斷子模塊；

所述本次批量作業(yè)晶圓組集合完成狀態(tài)判斷子模塊用于判斷本次批量作業(yè)的晶圓組是否集合完成，若否，則等待晶圓組集合完成；若是，則繼續(xù)由所述前次批量作業(yè)完成狀態(tài)判斷子模塊判斷；

所述前次批量作業(yè)完成狀態(tài)判斷子模塊用于判斷前次批量作業(yè)是否完成，若否，則等待前次批量作業(yè)完成；若是，則繼續(xù)由所述作業(yè)結(jié)果反饋模塊將所述前次批量作業(yè)的作業(yè)結(jié)果反饋給所述批量作業(yè)組建模塊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理系統(tǒng)，其特征在于，所述作業(yè)結(jié)果反饋模塊將所述前次批量作業(yè)的作業(yè)結(jié)果反饋給所述批量作業(yè)組建模塊，若所述前次批量作業(yè)的作業(yè)結(jié)果為好時(shí)，所述本次批量作業(yè)開始；若所述前次批量作業(yè)的作業(yè)結(jié)果為不好時(shí)，所述本次批量作業(yè)撤銷。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理系統(tǒng)，其特征在于，所述批量作業(yè)動(dòng)態(tài)更新模塊將與所述本次批量作業(yè)的晶圓組具有相同作業(yè)條件的晶圓組動(dòng)態(tài)更新到所述本次批量作業(yè)中。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理系統(tǒng)，其特征在于，所述晶圓組集合模塊通過若干個(gè)晶圓傳送盒將所述本次批量作業(yè)的晶圓組傳送至作業(yè)設(shè)備進(jìn)行晶圓組集合。

6.一種晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理方法，采用如權(quán)利要求1所述的晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理系統(tǒng)，應(yīng)用于半導(dǎo)體制造執(zhí)行系統(tǒng)和設(shè)備自動(dòng)化系統(tǒng)中，其特征在于，包括如下步驟：

步驟S1，組建本次批量作業(yè)；

步驟S2，將所述本次批量作業(yè)的晶圓組集合；

步驟S3，判斷所述本次批量作業(yè)的晶圓組集合完成狀態(tài)和前次批量作業(yè)的完成狀態(tài)；

步驟S4，動(dòng)態(tài)更新所述本次批量作業(yè)，重復(fù)步驟S2、S3，直到所述前次批量作業(yè)完成；

步驟S5，在所述前次批量作業(yè)完成后，反饋所述前次批量作業(yè)的作業(yè)結(jié)果，使得所述本次批量作業(yè)開始或撤銷。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理方法，其特征在于，在所述步驟S3中，具體包括：

步驟S301，判斷本次批量作業(yè)的晶圓組是否集合完成，若否，則等待晶圓組集合完成；若是，則繼續(xù)由下一個(gè)步驟判斷；

步驟S302，判斷前次批量作業(yè)是否完成，若否，則等待前次批量作業(yè)完成；若是，則反饋所述前次批量作業(yè)的作業(yè)結(jié)果。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理方法，其特征在于，在所述步驟S5中，若所述前次批量作業(yè)的作業(yè)結(jié)果為好時(shí)，所述本次批量作業(yè)開始；若所述前次批量作業(yè)的作業(yè)結(jié)果為不好時(shí)，所述本次批量作業(yè)撤銷。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理方法，其特征在于，在所述步驟S4中，將與所述本次批量作業(yè)的晶圓組具有相同作業(yè)條件的晶圓組動(dòng)態(tài)更新到所述本次批量作業(yè)中。

10.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶圓批量作業(yè)動(dòng)態(tài)處理方法，其特征在于，在所述步驟S2中，通過若干個(gè)晶圓傳送盒將所述本次批量作業(yè)的晶圓組傳送至作業(yè)設(shè)備進(jìn)行晶圓組集合。