[發明專利]用于測試電子器件的系統

有效

• 申請號: 201310333112.4
• 申請日: 2013-08-02
• 公開（公告）號: CN103576023B
• 公開（公告）日: 2018-07-20
• 發明（設計）人: R·M·默滕斯;J·E·小孔茲
• 申請（專利權）人: 德克薩斯儀器股份有限公司
• 主分類號: G01R31/00
• 分類號: G01R31/00;G01R1/04
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 趙蓉民

本發明涉及用于測試電子器件的系統和方法。本申請公開了用于靜電放電探針尖端的適配器。該適配器的實施例包括可以附連到探針尖端的附連器件。第一導體被固定到附連器件上，以便當附連器件被附連到探針尖端時第一導體接觸該尖端。第二導體在第一電導體和附連器件外部的一點之間延伸。

背景技術

很多電子器件在承受靜電放電(ESD)時容易失效。ESD通常是短時間內的高電壓脈沖。當電子器件接收ESD時，放電的能量可能損壞電子器件中的電子元件或使其退化。

ESD的影響是很不可測的。測試電子器件對ESD的敏感性包括使電子器件的樣本承受模擬ESD脈沖并且之后測試電子器件以確定其是否已經失效。測試包括兩個步驟。第一步包括將ESD模擬器連接到電子器件并且使電子器件承受模擬ESD脈沖。然后ESD模擬器與電子器件斷開并且測試裝置被連接到電子器件。然后電子器件被測試以確定其是否已經失效，從而確定該器件能否抵抗ESD。

同時將ESD模擬器和測試裝置連接到電子器件存在幾個問題。一個問題是由ESD模擬器生成的模擬ESD脈沖可能破壞測試裝置。另一個問題是模擬ESD脈沖是很短但電壓很高的信號。因此，它對可能通過連接到測試器件而發生的加載很敏感。例如，測試裝置中的內部電容或測試裝置的引線可能將模擬ESD脈沖抑制到沒有使電子器件承受正確的模擬ESD脈沖的一點處。

因此，需要一種更簡單的用于測試電子器件的方法和器件。該方法和器件需要快速地向電子器件提供準確的模擬ESD脈沖并使測試裝置不被損壞。

發明內容

本申請公開了用于靜電放電探針尖端的適配器。該適配器的實施例包括可附連到探針的尖端的附連器件。第一導體被固定到附連器件上，以便當附連器件被附連到尖端時第一導體接觸尖端。第二導體在第一導電體與附連器件外部的一點之間延伸。

附圖說明

圖1是用于確定被測器件能否承受ESD的測試系統的示意圖的實施例。

圖2是圖1的測試探針的放大示意圖。

圖3是圖2的測試探針的附連機構的橫截面側視圖。

圖4是描述圖1的測試系統100的操作的實施例的流程圖。

具體實施方式

圖1中示出一種用于測試被測器件104的系統100。在圖1的實施例中，被測器件104是集成電路。然而，被測器件104并不限于集成電路并且可以是任何電子器件。ESD探針106可與被測器件104的引線108電連接。ESD模擬器110通過電線114與ESD探針106連接。在某些實施例中，ESD模擬器110和ESD探針106是單個器件，比如手持器件。在此類器件中，沒有電線114。ESD模擬器110生成模擬靜電放電的電信號。例如，ESD模擬器可以生成持續時間幾納秒的幾千伏的模擬ESD脈沖。模擬ESD脈沖通過探針106被傳送到被測器件104。

測試裝置120通過電線122、繼電器124和另一根電線126電連接到探針106。繼電器124具有打開狀態和閉合狀態，在打開狀態下測試裝置120沒有電連接到探針106，在閉合狀態下測試裝置120電連接到探針106。繼電器124可以是將測試裝置120與探針106電連接或斷開的開關。電線122可以相對較短以便在電學上將繼電器124定位成靠近探針106。這樣一來，電線122的阻抗可能將對探針106發射的模擬ESD脈沖具有很小的影響。