[發明專利]用于光學元件位相缺陷檢測的線掃描相微分成像裝置

無效

• 申請號: 201310332071.7
• 申請日: 2013-08-01
• 公開（公告）號: CN103389311A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發明（設計）人: 陳鳳東;甘雨;劉炳國;莊志濤;劉國棟
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/01
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 張利明

1.用于光學元件位相缺陷檢測的線掃描相微分成像裝置，其特征在于，它包括：線光源（1）、線平移臺（2）、成像鏡頭（3）和線陣CCD（4）；

將該裝置的主光軸所在直線定義為三維直角坐標系的z軸，線光源（1）、線平移臺（2）、成像鏡頭（3）和線陣CCD（4）沿z軸依次排布，線平移臺（2）用于固定被測光學元件，線光源（1）平行且偏離三維直角坐標系的y軸，線平移臺（2）垂直于z軸，且該線平移臺（2）能夠沿三維直角坐標系的x軸方向平移，成像鏡頭（3）固定在主光軸上、且該成像鏡頭（3）的光軸與主光軸重合，線陣CCD（4）的光敏面所在平面垂直于主光軸；

線光源（1）發出的光入射至固定在線平移臺（2）上的被測光學元件，經該被測光學元件透射的光入射至成像鏡頭（3），該成像鏡頭（3）將入射光聚焦到線陣CCD（4）的光敏面上成像。

2.根據權利要求1所述的用于光學元件位相缺陷檢測的線掃描相微分成像裝置，其特征在于，線光源（1）由200至500根光纖緊密排布組成。

3.根據權利要求2所述的用于光學元件位相缺陷檢測的線掃描相微分成像裝置，其特征在于，光纖采用鹵素燈作為發光光源。

4.根據權利要求1或2所述的用于光學元件位相缺陷檢測的線掃描相微分成像裝置，其特征在于，線光源（1）的長度與需要測量的光學元件全口徑長度相同。

5.根據權利要求1所述的用于光學元件位相缺陷檢測的線掃描相微分成像裝置，其特征在于，成像鏡頭（3）為雙凸透鏡。

6.根據權利要求1所述的用于光學元件位相缺陷檢測的線掃描相微分成像裝置，其特征在于，線陣CCD（4）以120Hz的線采樣率采集圖像。