[發明專利]鉬靶材的制作方法

有效

• 申請號: 201310331636.X
• 申請日: 2013-07-31
• 公開（公告）號: CN104342619B
• 公開（公告）日: 2017-06-30
• 發明（設計）人: 姚力軍;相原俊夫;大巖一彥;潘杰;王學澤;袁海軍
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;B22F3/14;B22F3/18;B22F3/24
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司11227
• 代理人: 駱蘇華

1.一種鉬靶材的制作方法，其特征在于，包括：

提供鉬粉末；

采用熱壓燒結工藝對鉬粉末進行致密化處理，形成第一鉬靶材坯料；

對所述第一鉬靶材坯料進行熱軋處理，形成第二鉬靶材坯料；

熱軋處理后，對所述第二鉬靶材坯料進行退火處理形成鉬靶材；

所述熱軋處理過程包括，將所述第一鉬靶材坯料加熱至1200～1500℃，之后進行軋制處理；

所述軋制處理包括三個階段軋制處理，步驟如下：

對所述第一鉬靶材坯料進行第一階段軋制，使所述第一鉬靶材坯料的形變量為40％～60％；

對經過第一階段軋制后的第一鉬靶材坯料進行第二階段軋制，使經過第一階段軋制后的第一鉬靶材坯料的形變量為40％～60％；

第二階段后，對經過第二階段軋制后的第一鉬靶材坯料進行第三階段軋制，獲得第二鉬靶材坯料；

采用熱壓燒結工藝對鉬粉末包括：

將鉬粉末置于模具中；

將所述模具放入熱壓燒結爐中后，將所述熱壓燒結爐抽真空；

調節所述熱壓燒結爐溫度至1200～1500℃，壓強大于20MPa，并保溫保壓2～5h。

2.根據權利要求1所述的鉬靶材的制作方法，其特征在于，所述熱壓燒結工藝還包括向所述熱壓燒結爐中通入保護氣體。

3.根據權利要求2所述的鉬靶材的制作方法，其特征在于，所述保護氣體包括：Ar、He或N₂。

4.據權利要求1所述的鉬靶材的制作方法，其特征在于，所述熱軋處理后，所述第一鉬靶材坯料的形變量大于80％。

5.根據權利要求1所述的鉬靶材的制作方法，其特征在于，所述退火處理的方法為：調節溫度為800～1200℃，保溫加熱所述第二鉬靶材坯料2～5h。

6.根據權利要求1所述的鉬靶材的制作方法，其特征在于，所述鉬粉末的純度大于等于99.95％，比表面積大于等于1.1m²/g。