[發明專利]彩色共焦掃描裝置

有效

• 申請號: 201310328978.6
• 申請日: 2013-07-31
• 公開（公告）號: CN103575218A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 鄧江汶;張轉運;陳方涵;施會豐
• 申請（專利權）人: 先進科技新加坡有限公司
• 主分類號: G01B11/02
• 分類號: G01B11/02;G02B27/00
• 代理公司: 北京申翔知識產權代理有限公司 11214
• 代理人: 周春發

1.一種彩色共焦掃描裝置，該裝置包含有：

光源，其用于產生包含有多個波長的光線；

第一屏幕，其具有開放的延伸狹縫，該狹縫允許產生自光源的光線帶通過該狹縫；

圓柱形物鏡，其被操作來聚焦和投射光線在將被測量的物體表面上，并將自物體表面反射的光線成像；

中間圓柱形透鏡組，其被操作來聚焦自圓柱形物鏡成像的光線帶，以通過包含于第二屏幕中的開放的延伸狹縫；和

彩色傳感器，其被配置來接收已經通過第二屏幕的延伸狹縫的光線，以確定所述光線帶的多個波長，而構造物體表面的至少局部的高度分布曲線。

2.如權利要求1所述的彩色共焦掃描裝置，其中，該圓柱形物鏡包含有彩色圓柱形透鏡。

3.如權利要求1所述的彩色共焦掃描裝置，該裝置還包含有：衍射透鏡，其設置在第一屏幕和圓柱形物鏡之間。

4.如權利要求1所述的彩色共焦掃描裝置，其中，該圓柱形物鏡具有一對彎曲表面，以用于將通過該圓柱形物鏡的光線聚焦在線性帶上。

5.如權利要求1所述的彩色共焦掃描裝置，該裝置還包含有：分光器，其設置在圓柱形物鏡和中間圓柱形透鏡組之間。

6.如權利要求1所述的彩色共焦掃描裝置，其中，該光線使用光線帶照射該物體表面的局部。

7.如權利要求1所述的彩色共焦掃描裝置，其中，該中間圓柱形透鏡組還包含有第一中間圓柱形透鏡和第二中間圓柱形透鏡，其中第二中間圓柱形透鏡被設置來在正交于第一中間圓柱形透鏡聚焦光線的方向的方向上聚焦光線。

8.如權利要求7所述的彩色共焦掃描裝置，其中，該第一中間圓柱形透鏡和第二中間圓柱形透鏡均包含有非彩色圓柱形透鏡。

9.如權利要求1所述的彩色共焦掃描裝置，該裝置還包含有：非圓柱形物鏡，其設置在第二屏幕和彩色傳感器之間。

10.如權利要求1所述的彩色共焦掃描裝置，該裝置還包含有：定位設備，其用于相對于圓柱形物鏡移動物體，以便于構造物體表面的多個局部的高度分布曲線。

11.如權利要求1所述的彩色共焦掃描裝置，其中，照射光線帶的圖像沿著照射光線帶的長度方向具有第一景深和第一數值孔徑以及沿著照射光線帶的寬度方向具有第二景深和第二數值孔徑，其中，第一景深小于第二景深，而第一數值孔徑大于第二數值孔徑。

12.如權利要求11所述的彩色共焦掃描裝置，其中，由彩色傳感器所接收的圖像具有沿著相互正交的兩個軸線分布的不同的數值孔徑。

13.如權利要求12所述的彩色共焦掃描裝置，其中，沿著兩個軸線之一分布的較低的數值孔徑被配置來降低由彩色傳感器所檢測的離焦光線在圖像邊界處的干擾。

14.一種用于校準如權利要求1所述的彩色共焦掃描裝置的設備，該設備包含有帶溢出表面的參考物體，該設備被采用來放置在移動平臺上，該移動平臺被操作來相對于彩色共焦掃描裝置移動參考物體。

15.如權利要求14所述的設備，該設備還包含有帶預設尺寸的網格，該網格設置在參考物體的表面上。