[發明專利]準單晶鑄錠爐的下加熱器升降機構

有效

• 申請號: 201310328231.0
• 申請日: 2013-08-01
• 公開（公告）號: CN103409790A
• 公開（公告）日: 2013-11-27
• 發明（設計）人: 水川;許柏
• 申請（專利權）人: 安徽大晟新能源設備科技有限公司
• 主分類號: C30B11/00
• 分類號: C30B11/00;C30B28/06
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102
• 代理人: 王琪

技術領域

本發明屬于準單晶鑄錠爐技術領域，特別涉及鑄錠爐中下加熱器升降機構。

背景技術

準單晶是在多晶硅鑄錠爐上采用鑄造結晶的方式，經過一系列先進的工藝流程所生產出的具有高轉換率的準單晶硅片。其主要工藝是通過在多晶硅鑄錠爐石英坩堝的底部放置籽晶，并在真空狀態下，采用精確分段控溫，保證硅料融化時籽晶部分融化，由此長出單晶。目前國內的多晶硅鑄錠爐主要是坩堝、平臺不動，上發熱體、側發熱體及上保溫體上下移動。這種結構對多晶硅鑄錠爐可以滿足工藝要求，但由于原多晶硅鑄錠爐沒有下發熱體，在生產準單晶硅的鑄錠爐中就不能滿足工藝要求。為了滿足準單晶硅鑄錠的要求，鑄錠爐必須有嚴格的溫度梯度及凝固速度控制，適合的界面形狀，因此需要設置一個可做升降運動的下加熱器。

發明內容

本發明的目的在于提供一種可做升降運動的下加熱器機構，以滿足準單晶硅鑄錠生產所需要的工藝要求：固液界面在最短時間內形成。

為實現上述目的，本發明采用以下方案：

一種準單晶鑄錠爐的下加熱器升降機構，包括下發熱體、固定件、電極立柱、固定板、墊塊、托板、升降裝置、傳動軟軸和電機。?

所述下發熱體通過固定件安裝在保溫體內部的坩堝平臺底面，下發熱體安裝有垂直設置的電極立柱，電極立柱向下伸出保溫體及爐體后安裝在固定板上，固定板通過絕緣墊板與托板連接；爐體下固定設有升降裝置，升降裝置與托板連接；托板上設有傳動軟軸及電機，升降裝置由傳動軟軸連接帶動，傳動軟軸由電機連接帶動。

本發明結構合理，使下發熱體在鑄錠爐保溫體內可以上下移動，滿足了準單晶硅鑄錠生產所需要的工藝要求。

附圖說明

圖1為本發明的準單晶硅鑄錠爐及其下加熱器升降機構結構示意圖，

圖2為圖1的仰視圖。

圖中：1為爐體、2為固定件、3為坩堝平臺、4下發熱體、5為電極立柱、6為保溫體、7為升降裝置、8為電機、9為托板、10為墊塊、11為固定板、12為傳動軟軸。

具體實施方式

以下結合實施例及其附圖對本發明做進一步詳細的說明：

見圖1、圖2，一種準單晶鑄錠爐的下加熱器升降機構，包括下發熱體4、固定件2、電極立柱5、固定板11、墊塊10、托板9、升降裝置7、傳動軟軸12和電機8。?

如圖1、圖2所示，所述下發熱體4通過固定件2安裝在保溫體6內部的坩堝平臺3底面；下發熱體4安裝有垂直設置的電極立柱5，電極立柱5向下伸出保溫體6及爐體1后安裝在固定板11上，固定板11通過絕緣墊板10與托板9連接；爐體1下固定設有升降裝置7，升降裝置7與托板9連接；托板9上設有傳動軟軸12及電機8，升降裝置7由傳動軟軸12連接帶動，傳動軟軸12由電機8連接帶動。

所述電機8帶動兩根傳動軟軸12，傳動軟軸12通過高精度滾珠絲杠帶動三個升降裝置7同時旋轉，升降裝置7的絲杠旋轉轉換為托板9的上下運動，托板9帶動下發熱體4與坩堝平臺3一起實現同時升降運動。

以上所述的僅是本發明的優選實施方式，應當指出，對于本領域的普通技術人員來說，在不脫離本發明原理的前提下，還可以作出若干變型和改進，這些也應視為屬于本發明的保護范圍。