[發明專利]一種多電極線性可調節的MEMS電容器

有效

• 申請號: 201310323560.6
• 申請日: 2013-07-30
• 公開（公告）號: CN103440985A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發明（設計）人: 劉澤文;趙晨旭;李玲
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: H01G5/18
• 分類號: H01G5/18;B81C1/00
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 賈玉健

1.一種多電極線性可調節的MEMS電容器，包括：

介質襯底（100）；

設置于介質襯底（100）上的電容下極板（300）、第一錨點（401）、第二錨點（402）和多組控制電極，電容下極板（300）位于第一錨點（401）和第二錨點（402）之間，每組控制電極由對稱分布于電容下極板（300）兩側的結構相同的a部分和b部分組成，a部分和b部分之間電氣連接；

以及，

位于第一錨點（401）和第二錨點（402）上的電容上極板（200）。

2.如權利要求1所述的多電極線性可調節的MEMS電容器，其特征在于，所述第一錨點（401）和第二錨點（402）的高度不同，電容上極板（200）呈傾斜狀態，沿電容上極板（200）傾斜下端向上端方向，對多組控制電極逐次加電壓，每組控制電極上的電壓均由低到高變化，使電容上極板（200）與電容下極板（300）之間的電容值呈近似線性的變化。

3.如權利要求1所述的多電極線性可調節的MEMS電容器，其特征在于，所述相鄰組的控制電極之間間距相等或者不相等。

4.如權利要求1所述的多電極線性可調節的MEMS電容器，其特征在于，所述控制電極為N組，N為正整數，控制電極上覆蓋一層介質層，以實現與電容上極板（200）之間的電隔離。

5.如權利要求4所述的多電極線性可調節的MEMS電容器，其特征在于，所述N為10。

6.如權利要求1所述的多電極線性可調節的MEMS電容器，其特征在于，所述電容下極板（300）設置于電容上極板（200）的正下方中間位置，比電容上極板（200）小，電容下極板（300）上覆蓋一層介質層，以實現與電容上極板（200）之間的電隔離。

7.如權利要求1所述的多電極線性可調節的MEMS電容器，其特征在于，所述第一錨點（401）和第二錨點（402）的高度相同，電容上極板（200）呈水平狀態，沿電容上極板（200）中間向兩端方向，對多組控制電極逐次加電壓，每組控制電極上的電壓均由低到高變化，使電容上極板（200）與電容下極板（300）之間的電容值呈近似線性的變化。

8.如權利要求7所述的多電極線性可調節的MEMS電容器，其特征在于，位于電容下極板（300）的中心部位有一組控制電極，其余各組控制電極沿該中心部位的控制電極對稱，且相對稱的兩組控制電極之間電氣連接。