[發(fā)明專利]支撐高度可調(diào)式光學(xué)元件多點支撐結(jié)構(gòu)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310322942.7
• 申請日: 2013-07-29
• 公開（公告）號: CN103389554A
• 公開（公告）日: 2013-11-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 趙磊;楊懷江;隋永新;張德福;王汝冬
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00;G03F7/20
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 南小平

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于深紫外投影光刻物鏡光機結(jié)構(gòu)設(shè)計與裝調(diào)領(lǐng)域，涉及一種光刻投影物鏡系統(tǒng)中光學(xué)元件的檢測支撐結(jié)構(gòu)和工況支撐結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

投影光刻裝備是大規(guī)模集成電路制造工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，近年來隨著集成電路線寬精細(xì)程度的不斷提高，投影光學(xué)裝備的分辨率亦逐漸提高，目前波長193.368nm的ArF準(zhǔn)分子激光器投影光刻裝備已成為90nm、65nm和45nm節(jié)點集成電路制造的主流裝備。

為滿足投影光刻物鏡良好的光學(xué)系統(tǒng)性能，工況使用環(huán)境中其光學(xué)元件的面形要求很高，面形RMS值大都在1～2nm范圍內(nèi)，對支撐結(jié)構(gòu)上與光學(xué)元件接觸處的加工質(zhì)量提出了很高的要求，要求接觸處具有μm～10μm量級的高度一致性，增加了支撐結(jié)構(gòu)的制造工藝難度和制造成本。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為解決光學(xué)元件支撐結(jié)構(gòu)接觸處高度一致性加工困難、成本高的問題，提出一種支撐高度可調(diào)式光學(xué)元件多點支撐結(jié)構(gòu)。

為解決上述問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：

支撐高度可調(diào)式光學(xué)元件多點支撐結(jié)構(gòu)，包括光學(xué)元件、鏡框和多個柔性支撐組件，所述多個柔性支撐組件均布固定在鏡框內(nèi)部圓周面上，所述光學(xué)元件設(shè)置在多個柔性支撐組件上；所述柔性支撐組件由柔性支撐塊、微分頭和恢復(fù)力彈簧組成，所述微分頭固定在柔性支撐塊上部，恢復(fù)力彈簧固定在柔性支撐塊上部，且位于正對微分頭的方向。

本發(fā)明的有益效果是：所述柔性支撐塊是由四個柔性鉸鏈連接的平面柔性四連桿機構(gòu)，包括機架、連桿一、連桿二和連桿三，其中連桿一和連桿三相互平行，兩者通過底部的兩個柔性鉸鏈與機架進行連接，通過頂部的兩個柔性鉸鏈與連桿二進行連接，連桿二為平面柔性四連桿機構(gòu)的位移輸出端；所述微分頭固定在機架上，并將輸入位移作用在連桿二上；恢復(fù)力彈簧固定在機架上，恢復(fù)力彈簧將預(yù)緊力作用在連桿二上；所述光學(xué)元件支撐面是連桿二上的斜面；光學(xué)元件通過膠粘的方式固定在支撐面上；微分頭水平運動時，通過柔性四連桿機構(gòu)將運動轉(zhuǎn)換成連桿二的軸向運動，進而實現(xiàn)光學(xué)元件支撐面的軸向高度可調(diào)，本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單、加工方便、成本低，且滿足了支撐高度一致性。

附圖說明

圖1為本發(fā)明支撐高度可調(diào)式光學(xué)元件多點支撐結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本發(fā)明所述的柔性支撐組件示意圖。

圖3為本發(fā)明所述的柔性支撐塊示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖對本發(fā)明做進一步說明。

如圖1所示，支撐高度可調(diào)式光學(xué)元件多點支撐結(jié)構(gòu)，包括光學(xué)元件1、鏡框2和多個柔性支撐組件3，所述多個柔性支撐組件3通過螺釘均布固定在鏡框2內(nèi)部圓周面上，所述光學(xué)元件1設(shè)置在多個柔性支撐組件3上。

如圖2、圖3所示，所述柔性支撐組件3由柔性支撐塊3-1、微分頭3-2和恢復(fù)力彈簧3-3組成。所述柔性支撐塊3-1為通過四個柔性鉸鏈連接的平面柔性四連桿機構(gòu)，由機架3-1-1、連桿一3-1-2、連桿二3-1-3和連桿三3-1-4構(gòu)成，其中連桿一3-1-2和連桿三3-1-4相互平行，兩者通過底部的兩個柔性鉸鏈與機架3-1-1進行連接，通過頂部的兩個柔性鉸鏈與連桿二3-1-3進行連接，連桿二3-1-3為平面柔性四連桿機構(gòu)的位移輸出端。

所述微分頭3-2穿過機架3-1-1上的圓孔固定在柔性支撐塊的機架3-1-1上部左側(cè)，且與連桿二3-1-3接觸，將輸入位移作用在柔性支撐塊的連桿二3-1-3上。恢復(fù)力彈簧3-3穿過機架3-1-1上的圓孔固定在機架3-1-1上部右側(cè)，位于正對微分頭3-2的方向，且與連桿二3-1-3接觸，恢復(fù)力彈簧3-3將預(yù)緊力作用在柔性支撐塊的連桿二3-1-3上。

所述光學(xué)元件支撐面3-1-5是連桿二3-1-3上的斜面，當(dāng)微分頭3-2運動時，通過柔性四連桿機構(gòu)將運動轉(zhuǎn)換成連桿二3-1-3的軸向運動，進而實現(xiàn)光學(xué)元件支撐面3-1-5的軸向高度調(diào)整，最后通過膠粘的方式將光學(xué)元件1固定在高度調(diào)整完成后的支撐面3-1-5上。