[發明專利]等離子體氣相沉積用射頻電源

有效

• 申請號: 201310322775.6
• 申請日: 2013-07-30
• 公開（公告）號: CN104349568A
• 公開（公告）日: 2015-02-11
• 發明（設計）人: 沙嫣;沙曉林
• 申請（專利權）人: 沙嫣;沙曉林
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.?一種等離子體氣相沉積用射頻電源，包括：

一變壓器，用于將一交流源電壓變換成一交流輸入電壓；

一激發單元，用于利用所述交流輸入電壓產生一正弦波電壓；

一放大單元，用于放大所述正弦波電壓；

一自動匹配單元，用于對所述正弦波電壓進行負載阻抗匹配，包括：一匹配電容；及一匹配電容傳動部件，其中，所述匹配電容傳動部件采用齒輪比為(1.5~2.5)：15的齒輪傳動部件；及

一輸出單元，用于將所述正弦波電壓輸出至一氣相沉積設備并產生輝光放電現象。

2.根據權利要求1所述的一種等離子體氣相沉積用射頻電源，其中，所述齒輪傳動部件的齒輪比為2：15。

3.根據權利要求1所述的一種等離子體氣相沉積用射頻電源，進一步包括一箱體，用于容納所述變壓器，所述整流器，所述激發單元，所述放大單元，所述自動匹配單元及所述輸出單元。

4.根據權利要求1所述的一種等離子體氣相沉積用射頻電源，進一步包括一保護單元，設置于所述箱體內，用于在過載，短路，漏電，過熱和駐波產生時阻止所述等離子體氣相沉積用射頻電源繼續工作。

5.根據權利要求1所述的一種等離子體氣相沉積用射頻電源，進一步包括一控制面板，設置于所述箱體的一正面，用于調整一輸出功率及手動進行所述負載阻抗匹配。

6.根據權利要求1所述的一種等離子體氣相沉積用射頻電源，進一步包括一回饋單元，設置于所述箱體內，用于采集射頻電源工作參數。

7.根據權利要求1所述的一種等離子體氣相沉積用射頻電源，進一步包括一顯示單元，設置于所述箱體的所述正面，用于顯示所述射頻電源工作參數。

8.根據權利要求7所述的一種等離子體氣相沉積用射頻電源，其中，所述顯示單元進一步包括一整流器，用于從所述交流輸入電壓中轉換出一直流電壓；一LED顯示屏，由所述直流電壓供電，用于顯示所述射頻電源工作參數；及一背光光源，用于在黑暗環境下照亮所述LED顯示屏。

9.根據權利要求1所述的一種等離子體氣相沉積用射頻電源，進一步包括一冷卻裝置，設置于所述箱體內，用于對所述等離子體氣相沉積用射頻電源進行降溫。

10.根據權利要求9所述的一種等離子體氣相沉積用射頻電源，其中，所述冷卻裝置進一步包括一風扇及一散熱片。