[發明專利]絲網印刷用墨液組合物及圖案形成方法有效
| 申請號: | 201310322524.8 | 申請日: | 2013-07-29 |
| 公開(公告)號: | CN103576453B | 公開(公告)日: | 2019-05-31 |
| 發明(設計)人: | 富田浩明;吉井靖博 | 申請(專利權)人: | 東京應化工業株式會社 |
| 主分類號: | G03F7/004 | 分類號: | G03F7/004;G03F7/00 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人: | 蔣亭 |
| 地址: | 日本神*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 絲網 印刷 用墨 組合 圖案 形成 方法 | ||
1.一種絲網印刷用墨液組合物,其特征在于,其含有:基材樹脂成分(A)、光活性化合物(B)、和由沸點為200℃以上的有機溶劑構成的溶劑(C),
所述絲網印刷用墨液組合物的表面張力為34.0mN/m以上且39.0mN/m以下,
所述基材樹脂成分(A)為在酸催化劑下使酚類和醛類發生加成縮聚而得的堿可溶性樹脂,所述酚類為苯酚、甲酚、二甲酚、三烷基酚、乙基苯酚、2-異丙基苯酚、3-異丙基苯酚、4-異丙基苯酚、鄰丁基苯酚、間丁基苯酚、對丁基苯酚、對叔丁基苯酚、間苯二酚、鄰苯二酚、對苯二酚、對苯二酚單甲基醚、連苯三酚、間苯三酚、烷基的碳數為1以上且4以下的烷基間苯二酚、烷基的碳數為1以上且4以下的烷基鄰苯二酚、烷基的碳數為1以上且4以下的烷基對苯二酚、α-萘酚、β-萘酚、羥基聯苯或雙酚A,所述醛類為甲醛、多聚甲醛、糠醛、苯甲醛、硝基苯甲醛或乙醛,
所述光活性化合物(B)含有含醌二疊氮基的化合物,所述含醌二疊氮基的化合物為多羥基二苯甲酮與萘醌-1,2-二疊氮基-5-磺酸、萘醌-1,2-二疊氮基-4-磺酸或正蒽醌二疊氮基磺酸的酯化合物,
所述溶劑(C)包含質量比為30:70~70:30的范圍的γ-丁內酯與三丙二醇單甲基醚的組合,
所述溶劑(C)的含量相對于所述絲網印刷用墨液組合物的總質量為50~72質量%。
2.一種圖案形成方法,其包括:
使用權利要求1所述的絲網印刷用墨液組合物,利用絲網印刷法在基板上形成墨液組合物膜的工序;
對所述墨液組合物膜進行烘烤的工序;
進行曝光的工序;和
進行顯影的工序。
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