[發(fā)明專利]一種光集成固體繼電器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310322340.1 | 申請日： | 2013-07-29 |
| 公開（公告）號： | CN103457589A | 公開（公告）日： | 2013-12-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張有潤;董梁;劉影;吳浩然;張波 | 申請（專利權(quán)）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | H03K17/687 | 分類號： | H03K17/687;H01L27/142 |
| 代理公司： | 成都宏順專利代理事務(wù)所(普通合伙) 51227 | 代理人： | 李順德;王睿 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 集成 固體 繼電器 | ||
1.一種光集成固體繼電器，其特征在于：包括集成于同一襯底（1）上的控制電路（3）和輸出端功率半導體器件（4），還包括光電池陣列（2），所述光電池陣列（2）將光信號轉(zhuǎn)換成電信號并將電信號提供給控制電路（3），所述控制電路（3）根據(jù)輸入的電信號控制輸出端功率半導體器件（4）的開關(guān)；所述控制電路（3）由若干個三極管、若干個二極管以及若干個阻抗元件組合而成，每個三極管、每個二極管以及每個阻抗元件均單獨處于襯底（1）的一個V型槽（101）內(nèi)；所述輸出端功率半導體器件（4）單獨處于襯底（1）的V型槽（101）內(nèi)；所述光電池陣列（2）集成在輸出端功率半導體器件（4）表面的漂移區(qū)，所述光電池陣列（2）由若干個光伏電池串聯(lián)而成。
2.如權(quán)利要求1所述的光集成固體繼電器，其特征在于：所述光伏電池為多晶硅光伏電池。
3.如權(quán)利要求2所述的一種光集成固體繼電器，其特征在于：所述輸出端功率半導體器件（4）表面的漂移區(qū)設(shè)置有N型多晶硅基體（5），在N型多晶硅基體（5）與輸出端功率半導體器件（4）之間設(shè)置有場氧層（6），在N型多晶硅基體（5）的表面通過雙擴散工藝形成P+區(qū)（7）以及N+區(qū)（8），并在P+區(qū)（7）設(shè)置陽極電極（9）、N+區(qū)（8）設(shè)置陰極電極（10）形成所述的多晶硅光伏電池。
4.如權(quán)利要求3所述的光集成固體繼電器，其特征在于：所述多晶硅光伏電池表面設(shè)置有抗反射層（11）。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中任意一項權(quán)利要求所述的光集成固體繼電器，其特征在于：所述輸出端功率半導體器件（4）為橫向雙擴散金屬氧化物半導體場效應晶體管或橫向絕緣柵雙極型晶體管。
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