[發明專利]一種光電器件的排氣激活方法

有效

• 申請號: 201310321644.6
• 申請日: 2013-07-29
• 公開（公告）號: CN103367078A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 周榮楣;方莉;江秋玲;王浩東;尚秋輝
• 申請（專利權）人: 南京華東電子光電科技有限責任公司;南京三樂電子信息產業集團有限公司
• 主分類號: H01J9/385
• 分類號: H01J9/385
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 楊海軍

1.一種光電器件的排氣激活方法，其特征在于，它包括以下步驟：

（1）將光電器件的排氣管與真空排氣臺的真空系統相連接，然后開啟真空排氣臺，對光電器件進行抽氣，當光電器件內的真空度達到5×10^-3Pa至5.5×10^-3Pa時，預抽2至4h后給光電器件進行加溫到300℃至400℃，保溫4h至8h進行除氣，然后降至室溫；

（2）然后對光電器件通入氫氣凈化陰極平板，對聚焦極、各級倍增極、末級倍增極、陽極進行1200V至1500V高壓放電去毛刺；

（3）然后將光電器件接入蒸銻通電回路進行蒸銻處理，蒸銻電流為1A～1.3A，蒸銻時間5至10分鐘；

（4）開啟高頻電爐，用高頻線圈烘烤鉀管和銫管進行預先除氣，直到鉀管內的真空度不低于1×10^-4Pa時停止烘烤，然后烤出鉀蒸汽趕至與排氣管相連的小球內，摘除鉀管；

（5）分別將光電器件的陰極與光電器件的第一倍增極接到激活電源上，鎢絲燈光源固定在光電器件窗前端40～50mm處，使倍增區溫度控制在200℃～250℃，陰極區溫度控制在210℃～220℃，把小球內鉀蒸汽趕至光電器件內，進鉀激活，反復數次直到陰極面變為紫紅色，摘除小球，然后烘去光電器件內的余鉀；

（6）開啟高頻電爐，用高頻線圈烘烤，對銫管除氣，直到銫管內的真空度不低于1×10^-4Pa時停止烘烤，烤出銫蒸汽趕至與排氣管相連的另一個小球內；

（7）在220℃至250℃的溫度下引小球內銫蒸汽進入光電器件內，進行慢激活，當光電器件管的光電流上升至最大值后摘除銫管；

（8）將光電器件中的倍增區部位保持加熱溫度200℃～250℃，并且把光電器件中的陰極區保持加熱溫度150℃～200℃，分別烘烤24h至72h，烘去光電器件管內殘余的堿金屬，最后封離光電器件管。

2.根據權利要求1所述的光電器件的排氣激活方法，其特征在于，步驟(1)?

當光電器件內的真空度達到5×10^-3Pa時，預抽2?h后給光電器件進行加溫到330℃至370℃，保溫4h進行除氣，然后降至室溫。

3.根據權利要求1所述的光電器件的排氣激活方法，其特征在于，步驟(2)?所述的高壓放電去毛刺的電壓為1500V。

4.根據權利要求1所述的光電器件的排氣激活方法，其特征在于，步驟(3)蒸銻處理時，蒸銻電流為1.1～1.15A，蒸銻時間6至8分鐘。