[發明專利]電阻模型的建模方法在審
| 申請號： | 201310321036.5 | 申請日： | 2013-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN103390086A | 公開（公告）日： | 2013-11-13 |
| 發明（設計）人： | 廖夢星;吉遠倩 | 申請（專利權）人： | 上海宏力半導體制造有限公司 |
| 主分類號： | G06F17/50 | 分類號： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 鄭瑋 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電阻 模型 建模 方法 | ||
1.一種電阻模型的建模方法，其特征在于，包括：
根據晶圓的測量結果建立固有的電阻模型，所述晶圓包含模擬對象和多個用于測量的Pad，所述Pad通過金屬線與所述模擬對象連接；
在固有的電阻模型中增加參數設置和金屬線子電路，利用所述參數和金屬線子電路計算金屬線的電阻；
根據所述測量結果和所述金屬線的電阻建立最終的電阻模型。
2.如權利要求1所述的電阻模型的建模方法，其特征在于，所述多個Pad中其中一個Pad作為共用端，除了共用端之外的其他Pad分別通過所述金屬線與所述共用端連接。
3.如權利要求2所述的電阻模型的建模方法，其特征在于，所述其他Pad與所述共用端之間分別連接有一個電阻。
4.如權利要求1至3任一項所述的電阻模型的建模方法，其特征在于，所述Pad的數量是13個。
5.如權利要求1所述的電阻模型的建模方法，其特征在于，所述參數為npad，所述npad表示Pad的序數。
6.如權利要求5所述的電阻模型的建模方法，其特征在于，所述npad為自然數，其取值范圍在1到11之間。
7.如權利要求1所述的電阻模型的建模方法，其特征在于，所述金屬線的電阻的計算公式為：
rm=r_rm1×(L1+L2+L3+Lp×(12-npad))/wm×TCM×VCM；
其中，r_rm1為金屬線的方塊電阻，L1和L3是序數為“npad”的其他Pad所連接的電阻與其位置相鄰的兩個Pad之間的金屬線的長度，L2是序數為“npad”的其他Pad所連接的電阻的中心與所述金屬線的垂直距離，wm為金屬線的線寬，TCM為溫度系數，VCM為電壓系數，Lp為Pad之間的間距。
8.如權利要求7所述的電阻模型的建模方法，其特征在于，所述Lp等于200微米。
9.如權利要求7所述的電阻模型的建模方法，其特征在于，所述L1、L3和Lr之和為110微米；
其中，所述Lr是序數為“npad”的其他Pad所連接的電阻的長度。
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