[發明專利]磨粒的制造方法、懸浮液的制造方法以及研磨液的制造方法有效
| 申請號: | 201310317864.1 | 申請日: | 2011-11-21 |
| 公開(公告)號: | CN103374330A | 公開(公告)日: | 2013-10-30 |
| 發明(設計)人: | 巖野友洋;南久貴;秋元啟孝 | 申請(專利權)人: | 日立化成株式會社 |
| 主分類號: | C09K3/14 | 分類號: | C09K3/14 |
| 代理公司: | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人: | 杜娟 |
| 地址: | 日本國東京都千*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 制造 方法 懸浮液 以及 研磨 | ||
1.一種磨粒的制造方法,其中,
將第1液體與第2液體在下述式(1)所示的參數Z在5.00以上的條件下混合,得到含有4價金屬元素的氫氧化物的磨粒,
所述第1液體為所述4價金屬元素的鹽的水溶液,
所述第2液體為堿液;
Z=[1/(ΔpH×k)]×(N/M)/1000????????…(1)
式(1)中,ΔpH表示反應體系中每分鐘pH的變化量,
k表示下述式(2)所示的反應溫度系數,
N表示下述式(3)所示的循環數,單位:min-1,
M表示下述式(5)所示的置換數,單位:min-1;
k=2[(T-20)/10]??????????????????…(2)
式(2)中,T表示所述反應體系的溫度,單位:℃;
N=(u×S)/Q??????????????????????????…(3)
式(3)中,u表示下述式(4)所示的攪拌槳的線速度,單位:m/min,
所述攪拌槳用來攪拌所述第1液體與所述第2液體混合得到的混合液,
S表示所述攪拌槳的面積,單位:m2,
Q表示所述混合液的液量,單位:m3;
u=2π×R×r????????????????????????…(4)
式(4)中,R表示所述攪拌槳的轉速,單位:min-1,
r表示攪拌槳的旋轉半徑,單位:m;
M=v/Q????????????????????????????…(5)
式(5)中,v表示所述第1液體與所述第2液體的混合速度,單位:m3/min,
Q表示所述混合液的液量,單位:m3。
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