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[發明專利]磨粒的制造方法、懸浮液的制造方法以及研磨液的制造方法有效

專利信息
申請號: 201310317864.1 申請日: 2011-11-21
公開(公告)號: CN103374330A 公開(公告)日: 2013-10-30
發明(設計)人: 巖野友洋;南久貴;秋元啟孝 申請(專利權)人: 日立化成株式會社
主分類號: C09K3/14 分類號: C09K3/14
代理公司: 上海市華誠律師事務所 31210 代理人: 杜娟
地址: 日本國東京都千*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 制造 方法 懸浮液 以及 研磨
【權利要求書】:

1.一種磨粒的制造方法,其中,

將第1液體與第2液體在下述式(1)所示的參數Z在5.00以上的條件下混合,得到含有4價金屬元素的氫氧化物的磨粒,

所述第1液體為所述4價金屬元素的鹽的水溶液,

所述第2液體為堿液;

Z=[1/(ΔpH×k)]×(N/M)/1000????????…(1)

式(1)中,ΔpH表示反應體系中每分鐘pH的變化量,

k表示下述式(2)所示的反應溫度系數,

N表示下述式(3)所示的循環數,單位:min-1

M表示下述式(5)所示的置換數,單位:min-1

k=2[(T-20)/10]??????????????????…(2)

式(2)中,T表示所述反應體系的溫度,單位:℃;

N=(u×S)/Q??????????????????????????…(3)

式(3)中,u表示下述式(4)所示的攪拌槳的線速度,單位:m/min,

所述攪拌槳用來攪拌所述第1液體與所述第2液體混合得到的混合液,

S表示所述攪拌槳的面積,單位:m2

Q表示所述混合液的液量,單位:m3

u=2π×R×r????????????????????????…(4)

式(4)中,R表示所述攪拌槳的轉速,單位:min-1

r表示攪拌槳的旋轉半徑,單位:m;

M=v/Q????????????????????????????…(5)

式(5)中,v表示所述第1液體與所述第2液體的混合速度,單位:m3/min,

Q表示所述混合液的液量,單位:m3

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