[發明專利]磨粒的制造方法、懸浮液的制造方法以及研磨液的制造方法無效
| 申請號: | 201310316638.1 | 申請日: | 2011-11-21 |
| 公開(公告)號: | CN103450847A | 公開(公告)日: | 2013-12-18 |
| 發明(設計)人: | 巖野友洋;南久貴;秋元啟孝 | 申請(專利權)人: | 日立化成株式會社 |
| 主分類號: | C09K3/14 | 分類號: | C09K3/14 |
| 代理公司: | 上海市華誠律師事務所 31210 | 代理人: | 杜娟 |
| 地址: | 日本東京都千*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 制造 方法 懸浮液 以及 研磨 | ||
1.一種磨粒的制造方法,其中,
將第1液體與第2液體在下述式(1a)所示的參數Z在5.00以上的條件下混合,得到含有4價金屬元素的氫氧化物的磨粒,
所述第1液體為所述4價金屬元素的鹽的水溶液,
所述第2液體為堿液;
Z=[1/(ΔpH×k)]×(N/M)/1000??…(1a)
式(1a)中,ΔpH表示反應體系中每分鐘pH的變化量,
k表示下述式(2)所示的反應溫度系數,
N表示循環數,單位:min-1,
M表示下述式(5)所示的置換數,單位:min-1;
k=2[(T-20)/10]??…(2)
式(2)中,T表示所述反應體系的溫度,單位:℃;
M=v/Q????…(5)
式(5)中,v表示所述第1液體與所述第2液體的混合速度,單位:m3/min,
Q表示所述第1液體與所述第2液體混合所得混合液的液量,單位:m3。
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