[發明專利]轉軸裝置、托盤旋轉機構及托盤傳輸方法

有效

• 申請號: 201310316519.6
• 申請日: 2013-07-25
• 公開（公告）號: CN104342630B
• 公開（公告）日: 2018-05-25
• 發明（設計）人: 周衛國;黨志泉
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C16/458
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種托盤旋轉機構，該托盤旋轉機構包括托盤和轉軸裝置，其特征在于，所述轉軸裝置包括轉軸和加熱器：

所述轉軸包括位于該轉軸頂部的連接部；

所述加熱器僅設置于所述轉軸的連接部的下端，用于加熱所述轉軸的連接部，使得所述轉軸的連接部能夠受熱膨脹；

所述托盤底部設置有凹槽，所述轉軸的連接部設置在所述凹槽中，且所述連接部受熱膨脹時能夠與所述凹槽的內壁相接觸并能夠在所述轉軸轉動時帶動所述托盤轉動；

所述轉軸裝置還包括冷卻管，該冷卻管設置于所述轉軸內部，用于冷卻所述轉軸的連接部，使得所述連接部能夠冷卻收縮。

2.根據權利要求1所述的托盤旋轉機構，其特征在于，所述轉軸的連接部為上窄下寬的柱狀結構。

3.根據權利要求1至2中任意一項所述的托盤旋轉機構，其特征在于，所述轉軸裝置還包括加熱電源，所述加熱電源用于向所述加熱器供電。

4.根據權利要求3所述的托盤旋轉機構，其特征在于，所述轉軸裝置還包括溫控器，所述溫控器用于獲取所述加熱器的溫度。

5.根據權利要求4所述的托盤旋轉機構，其特征在于，所述溫控器還用于根據所述加熱器的溫度，調節所述加熱電源的輸出功率。

6.根據權利要求1所述的托盤旋轉機構，其特征在于，所述凹槽的形狀與所述連接部的形狀相匹配。

7.根據權利要求1所述的托盤旋轉機構，其特征在于，所述轉軸的連接部的熱膨脹系數大于所述托盤的熱膨脹系數。

8.一種托盤傳輸方法，用于傳輸權利要求1至7中任意一項所述的托盤旋轉機構中的托盤，其特征在于，所述托盤傳輸方法包括：

利用機械手將所述托盤放置在所述托盤旋轉機構的轉軸上；

加熱所述轉軸的連接部，使所述轉軸的連接部受熱膨脹，以使所述連接部的外表面與所述凹槽的內壁接觸，并使得所述轉軸轉動時能夠帶動所述托盤轉動以進行相應的工藝處理；

工藝結束后，冷卻所述轉軸的連接部，使所述轉軸的連接部收縮，以松動與所述托盤的連接；

利用機械手將所述托盤與所述轉軸分離并傳輸所述托盤至下一道工序。