[發明專利]中大口徑光學元件非球面磨削面形精度高效在位檢測方法

無效

• 申請號: 201310314139.9
• 申請日: 2013-07-25
• 公開（公告）號: CN103358231A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 吳慶堂;聶鳳明;吳煥;王大森;盧政宇;王凱;張廣平;郭波;段學俊;康戰;胡寶共;李珊;修冬;魏巍;陳洪海;李征
• 申請（專利權）人: 長春設備工藝研究所
• 主分類號: B24B49/02
• 分類號: B24B49/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.本發明提供一種中大口徑光學元件非球面磨削面形精度高效在位檢測方法，該方法是借助機床自身高精度導軌導向系統和高精度驅動系統，利用高精度測量儀器，對光學元件面形進行檢測，在位檢測裝置由測量儀器和磨削機床構成，其中測量儀器含有：檢測球頭、檢測桿、磁力支架和數據采集系統，磨削機床由X導軌部件、Y導軌部件、主軸部件、砂輪軸部件與轉臺軸部件組成；對光學元件磨削加工非球面面形進行在位檢測時，其特征在于：檢測儀器上的檢測球頭與光學元件表面接觸，數據采集系統有數據顯示，檢測球頭測量后，形成等距曲面，然后補償檢測球頭半徑擬合出測量非球面面形；其特征還在于：檢測桿平行于光學元件軸線，檢測球頭球心在Y導軌運動方向上通過光學元件的回轉中心檢測面形；其特征還在于：中大口徑光學元件非球面磨削加工后在位檢測時，利用三點法來尋找檢測球頭與光學元件軸線同心點位置；其特征還在于：檢測桿通過數據線與數據采集系統連接，將檢測數據傳輸給數據采集系統。