[發(fā)明專利]帶自我標(biāo)定的電容式微慣性傳感器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310312817.8
• 申請(qǐng)日: 2013-07-22
• 公開（公告）號(hào): CN103344785A
• 公開（公告）日: 2013-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董林璽;樓進(jìn)峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 杭州電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G01P15/125
• 分類號(hào): G01P15/125;G01P21/00
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 杜軍

1.?帶自我標(biāo)定的電容式微慣性傳感器，包括玻璃襯底、敏感器質(zhì)量塊、驅(qū)動(dòng)器質(zhì)量塊、固定驅(qū)動(dòng)硅條、固定檢測(cè)硅條和驅(qū)動(dòng)導(dǎo)線，其特征在于：

敏感器質(zhì)量塊分為條形敏感器質(zhì)量塊和一對(duì)柵形敏感器質(zhì)量塊；條形敏感器質(zhì)量塊由矩形塊和條形敏感器質(zhì)量塊矩形凸起組成，條形敏感器質(zhì)量塊的兩對(duì)應(yīng)端通過敏感器U型硅支撐梁與敏感器錨點(diǎn)連接，敏感器錨點(diǎn)固定設(shè)置在玻璃襯底上；一對(duì)柵形敏感器質(zhì)量塊分別位于條形敏感器質(zhì)量塊兩側(cè)，每個(gè)柵形敏感器質(zhì)量塊由縱向等間距、橫向平行的柵形電極以及柵型敏感器質(zhì)量塊矩形凸起組成，其縱向長度和條形敏感器質(zhì)量塊的主體長度相同；柵形敏感器質(zhì)量塊矩形凸起和條形質(zhì)量塊矩形凸起相對(duì)，形成電容調(diào)整間隙；柵形敏感器質(zhì)量塊的兩個(gè)對(duì)應(yīng)端分別設(shè)置有兩組矩形硅條組，每組硅條組包括平行設(shè)置的m條硅條，m≥2，柵形敏感器質(zhì)量塊兩端的硅條數(shù)目相同、位置對(duì)應(yīng)，硅條與柵形敏感器質(zhì)量塊側(cè)邊垂直；柵形敏感器質(zhì)量塊的另兩個(gè)對(duì)應(yīng)端分別設(shè)置有兩組梳型硅條組，每組硅條組由n個(gè)等間距的梳齒和連接梳齒的矩形硅條組成，n≥2，梳齒與矩形硅條垂直設(shè)置，柵形敏感器質(zhì)量塊兩端的梳齒數(shù)目相同、位置對(duì)應(yīng)，矩形硅條與柵形敏感器質(zhì)量塊側(cè)邊垂直；柵形敏感器質(zhì)量塊對(duì)應(yīng)玻璃襯底一面刻蝕有與矩形硅條平行的矩形柵條形井；柵形敏感器質(zhì)量塊和條形敏感器質(zhì)量塊通過兩對(duì)位于柵形敏感器質(zhì)量塊和條形敏感器質(zhì)量塊之間的U形敏感器連接梁相連，該兩對(duì)U形敏感器連接梁沿著條形敏感器質(zhì)量塊的橫向中心線對(duì)稱設(shè)置；

敏感器質(zhì)量塊的兩側(cè)分別設(shè)置有兩個(gè)驅(qū)動(dòng)器質(zhì)量塊；所述的驅(qū)動(dòng)器質(zhì)量塊為矩形硅片，驅(qū)動(dòng)器質(zhì)量塊的兩對(duì)應(yīng)端通過驅(qū)動(dòng)器U形支撐梁與錨點(diǎn)連接，驅(qū)動(dòng)器錨點(diǎn)固定設(shè)置在玻璃襯底上，驅(qū)動(dòng)器質(zhì)量塊與玻璃襯底平行設(shè)置；每個(gè)驅(qū)動(dòng)器質(zhì)量塊的一側(cè)設(shè)置有m個(gè)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)硅條，另一側(cè)設(shè)置有m個(gè)質(zhì)量塊驅(qū)動(dòng)硅條，所述的質(zhì)量塊驅(qū)動(dòng)硅條為梳齒狀，齒上刻蝕有凹形阻尼條，質(zhì)量塊驅(qū)動(dòng)硅條與敏感器質(zhì)量塊連接的矩形硅條平行、位置對(duì)應(yīng)，敏感器質(zhì)量塊連接的矩形硅條與對(duì)應(yīng)的質(zhì)量塊驅(qū)動(dòng)硅條組成質(zhì)量塊驅(qū)動(dòng)電容；驅(qū)動(dòng)器質(zhì)量塊中間刻有方環(huán)形槽；

兩個(gè)梳齒狀的固定驅(qū)動(dòng)硅條固定設(shè)置在玻璃襯底上，每個(gè)固定驅(qū)動(dòng)硅條的梳齒條與驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)硅條位置對(duì)應(yīng)；固定驅(qū)動(dòng)硅條的梳齒條與對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)硅條的組成驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)電容；兩個(gè)固定驅(qū)動(dòng)硅條通過玻璃襯底表面上的引線與驅(qū)動(dòng)器外部連接錨點(diǎn)連接；

四個(gè)梳齒狀的固定檢測(cè)硅條固定設(shè)置在玻璃襯底上，每個(gè)固定檢測(cè)硅條的梳齒條與敏感器質(zhì)量塊連接的梳齒狀硅條組上的梳齒條位置對(duì)應(yīng)，固定檢測(cè)硅條的梳齒條與梳齒狀硅條組上的梳齒條形成檢測(cè)電容；四個(gè)固定檢測(cè)梳齒條通過玻璃襯底上的引線與外部連接錨點(diǎn)連接；

驅(qū)動(dòng)導(dǎo)線共有兩根，分別縱向設(shè)置于相應(yīng)的柵形敏感器質(zhì)量塊的內(nèi)側(cè)邊框上，每根驅(qū)動(dòng)導(dǎo)線的一端通過沿對(duì)應(yīng)的敏感器連接梁和敏感器U型硅支撐梁上所鋪設(shè)的金屬導(dǎo)線引出電極連接；驅(qū)動(dòng)導(dǎo)線以及連接驅(qū)動(dòng)導(dǎo)線與電極之間的連接線與敏感器柵質(zhì)量塊對(duì)應(yīng)部分之間設(shè)置有電絕緣層；

玻璃襯底表面對(duì)應(yīng)兩個(gè)敏感器錨點(diǎn)位置設(shè)置有兩個(gè)敏感器質(zhì)量塊錨點(diǎn)，敏感器質(zhì)量塊焊點(diǎn)與敏感器錨點(diǎn)連接；玻璃襯底表面對(duì)應(yīng)敏感器質(zhì)量塊設(shè)置有叉指鋁電極，敏感器質(zhì)量塊上刻蝕的柵條形井的長條邊與叉指鋁電極中的每對(duì)叉指相對(duì)應(yīng)。