[發明專利]一種半導體測量設備在審
| 申請號： | 201310312631.2 | 申請日： | 2013-07-23 |
| 公開（公告）號： | CN104344849A | 公開（公告）日： | 2015-02-11 |
| 發明（設計）人： | 郭一鳴;郭亞娟;周萬泉 | 申請（專利權）人： | 睿勵科學儀器（上海）有限公司 |
| 主分類號： | G01D21/02 | 分類號： | G01D21/02;G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京市金杜律師事務所 11256 | 代理人： | 鄭立柱 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體 測量 設備 | ||
【權利要求書】：
1.一種半導體測量設備，其特征在于，所述半導體測量設備包括：
用于檢測現場參數的至少一個傳感器；
微控制器，其與所述至少一個傳感器通信地連接，
其中，所述微控制器支持無線通信協議并且所述傳感器與所述微控制器通過無線通信協議通信，以便采集所述半導體測量設備各處的傳感器數據。
2.根據權利要求1所述的半導體測量設備，其特征在于，所述無線通信協議為Zigbee無線通信協議。
3.根據權利要求1所述的半導體測量設備，其特征在于，所述現場參數包括以下各項中的至少一項或多項：
-溫度；
-濕度；
-壓差；
-真空壓力；
-壓縮空氣壓力；
-氣體流量；和/或
-液體流量。
4.根據權利要求1所述的半導體測量設備，其特征在于，所述至少一個傳感器利用無線通信協議組網，以形成不需要電纜的無線測量局域網。
5.根據權利要求1所述的半導體測量設備，其特征在于，所述至少一個傳感器采用超低功耗信號采集及轉化電路。
6.根據權利要求1所述的半導體測量設備，其特征在于，所述微控制器采用超低功耗的支持無線通信協議的電路。
7.根據權利要求6所述的半導體測量設備，其特征在于，所述微控制器采用電池供電。
8.根據前述權利要求中任一項所述的半導體測量設備，其特征在于，所述至少一個傳感器采用電池供電。
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