[發(fā)明專利]微機械真空傳感器

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310312222.2
• 申請日: 2013-07-24
• 公開（公告）號: CN103424224A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 郭俊
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫微奇科技有限公司
• 主分類號: G01L21/12
• 分類號: G01L21/12
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種微機械真空傳感器，其特征是：包括微橋面單元(11)，所述微橋面單元(11)相對的兩端分別設(shè)置有與所述微橋面單元(11)相連的第一導(dǎo)熱橋臂(3)及第二導(dǎo)熱橋臂(9)，所述第一導(dǎo)熱橋臂(3)的自由端通過第一連接橋墩(2)與第一支撐點(1)相連，所述第二導(dǎo)熱橋臂(9)的自由端通過第二連接橋墩(8)與第二支撐點(7)相連，所述第一支撐點(1)及所述第二支撐點(7)位于所述微橋面單元(11)的下方并與所述微橋面單元(11)之間存在間隙(12)；所述微橋面單元(11)的上表面上設(shè)置有電阻式溫敏涂層(6)，所述微橋面單元(11)上表面的相對兩側(cè)(10)分別設(shè)置有橋面電氣連接走線(5)，所述第一導(dǎo)熱橋臂(3)及所述第二導(dǎo)熱橋臂(9)上分別設(shè)置有與相應(yīng)的所述橋面電氣連接走線(5)相連的橋臂電氣連接走線(4)，兩條所述橋臂電氣連接走線(4)分別通過相應(yīng)的連接橋墩延伸至相應(yīng)的支撐點。

2.按照權(quán)利要求1所述的微機械真空傳感器，其特征是：所述第一導(dǎo)熱橋臂(3)及所述第二導(dǎo)熱橋臂(9)與所述微橋面單元(11)的連接點分別位于所述微橋面單元(11)兩端的對角位置。

3.按照權(quán)利要求1所述的微機械真空傳感器，其特征是：所述間隙(12)的尺寸為0.5-5微米。

4.按照權(quán)利要求1所述的微機械真空傳感器，其特征是：所述微橋面單元(11)為氮化硅襯底。

5.按照權(quán)利要求1所述的微機械真空傳感器，其特征是：所述電阻式溫敏涂層(6)為金屬鈦/氮化鈦、二氧化釩或者α-非晶硅。

6.按照權(quán)利要求1所述的微機械真空傳感器，其特征是：所述橋面電氣連接走線(5)及所述橋臂電氣連接走線(4)分別為Ti或者NiCr合金。

7.按照權(quán)利要求1所述的微機械真空傳感器，其特征是：測試真空時，先用一個小電流測出所述微橋面單元(11)的原始電阻，再用合適的大電流測出所述微橋面單元(11)的電阻值，利用上述兩個電阻值的比率來計算真空值。