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[發明專利]輸片協作的多個機器人設備的調度方法及系統有效

專利信息
申請號: 201310311790.0 申請日: 2013-07-23
公開(公告)號: CN103399543A 公開(公告)日: 2013-11-20
發明(設計)人: 徐華;袁源;高士云 申請(專利權)人: 清華大學
主分類號: G05B19/418 分類號: G05B19/418
代理公司: 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 代理人: 張大威
地址: 100084 北京*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 協作 機器人 設備 調度 方法 系統
【權利要求書】:

1.一種輸片協作的多個機器人設備的調度方法,其特征在于,包括以下步驟:

接收所述多個機器人設備的待處理任務;

對所述多個機器人設備進行配置,并生成配置信息;

根據所述配置信息、所述多個機器人設備的拓撲結構、路徑列表和晶圓列表生成對所述多個機器人設備進行有序調度的調度序列;以及

根據所述調度序列和所述多個機器人設備的待處理任務對所述多個機器人設備進行調度控制,使所述多個機器人設備協同完成所述待處理任務。

2.如權利要求1所述的輸片協作的多個機器人設備的調度方法,其特征在于,所述根據所述配置信息、所述多個機器人設備的拓撲結構、路徑列表和晶圓列表生成對所述多個機器人設備進行有序調度的調度序列的步驟,進一步包括:

根據每個機器人設備的動作與對應機器人設備的狀態關系建立所述動作與狀態的對應關系;以及

根據所述動作與狀態的對應關系、所述路徑列表和所述晶圓列表生成所述調度序列。

3.如權利要求1所述的輸片協作的多個機器人設備的調度方法,其特征在于,所述配置信息包括所述多個機器人設備的類型、容量、位置和處理時間。

4.如權利要求1所述的輸片協作的多個機器人設備的調度方法,其特征在于,當所述待處理人物所對應的動作為多個時,從所述多個動作中選擇運行時間最短的動作。

5.一種輸片協作的多個機器人設備的調度系統,其特征在于,包括:

接收模塊,用于接收所述多個機器人設備的待處理任務;

配置模塊,用于對所述多個機器人設備進行配置,并生成配置信息;

生成模塊,用于根據所述配置信息、預存在所述生成模塊中的多個機器人設備的拓撲結構、路徑列表和晶圓列表生成對所述多個機器人設備進行有序調度的調度序列;以及

調度模塊,用于根據所述調度序列和所述多個機器人設備的待處理任務對所述多個機器人設備進行調度控制,使所述多個機器人設備協同完成所述待處理任務。

6.如權利要求5所述的輸片協作的多個機器人設備的調度系統,其特征在于,所述生成模塊具體包括:

關聯單元,用于根據每個機器人設備的動作與對應機器人設備的狀態關系建立所述動作與狀態的對應關系;以及

生成單元,用于根據所述動作與狀態的對應關系、所述路徑列表和所述晶圓列表生成所述調度序列。

7.如權利要求5所述的輸片協作的多個機器人設備的調度系統,其特征在于,所述配置信息包括所述多個機器人設備的類型、容量、位置和處理時間。

8.如權利要求5所述的輸片協作的多個機器人設備的調度系統,其特征在于,所述調度模塊還用于當所述待處理操作所對應的動作為多個時,從所述多個動作中選擇運行時間最短的動作。

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