[發(fā)明專利]使用合并光譜數(shù)據(jù)的光譜技術(shù)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310310310.9
• 申請(qǐng)日: 2013-07-23
• 公開（公告）號(hào): CN103575755A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: S.R.M.斯托克斯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: FEI公司
• 主分類號(hào): G01N23/22
• 分類號(hào): G01N23/22
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 蔣駿;劉春元

1.一種使用光譜裝置檢查樣品的方法，包括以下步驟：

-?將所述樣品安裝在樣品架上；

-?將輻射的聚焦輸入射束引導(dǎo)到所述樣品上的位置上，從而產(chǎn)生使受激光子輻射的通量從所述位置放射的相互作用；

-?使用多通道光子計(jì)數(shù)檢測(cè)器檢查所述通量，從而針對(duì)所述位置積累測(cè)量光譜；

-?針對(duì)所述樣品上的一系列連續(xù)位置，自動(dòng)重復(fù)所述引導(dǎo)和檢查步驟，

其特征在于下列步驟：

-?選擇將影響所述受激光子輻射通量的大小的輸入射束的射束參數(shù)；

-?針對(duì)所述樣品上第一組位置內(nèi)的每個(gè)位置，使用所述射束參數(shù)的第一值來積累光譜；

-?針對(duì)所述樣品上第二組位置內(nèi)的每個(gè)位置，使用與所述第一值不同的所述射束參數(shù)的第二值來積累光譜。

2.如權(quán)利要求1中所要求保護(hù)的方法，包括以下步驟：

-?選擇所述射束參數(shù)的所述第一值；

-?在第一測(cè)量運(yùn)行中，在針對(duì)所述第一組位置中的每個(gè)位置獲取光譜的同時(shí)，維持所述射束參數(shù)的所述第一值；

-?選擇所述射束參數(shù)的所述第二值；

-?在第二測(cè)量運(yùn)行中，在針對(duì)所述第二組位置中的每個(gè)位置獲取光譜的同時(shí)，維持所述射束參數(shù)的所述第二值。

3.如權(quán)利要求2中所要求保護(hù)的方法，包括以下步驟：

-?在所述第一測(cè)量運(yùn)行期間，如果所述檢測(cè)器遇到被低于給定接受值的時(shí)間間隔所分離的兩個(gè)連續(xù)光子，則生成事件信號(hào)；

-?如果在給定位置L_f處，所生成的事件信號(hào)的數(shù)量超過特定的閾值，則生成標(biāo)志信號(hào)，并將位置L_f存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器中；

-?響應(yīng)于標(biāo)志信號(hào)的生成，選擇所述射束參數(shù)的所述第二值，以便降低所述受激光子輻射通量的大小；

-?選擇所述第二組位置以至少包括位置L_f的子集。

4.如權(quán)利要求3中所要求保護(hù)的方法，其中：

-?如果在位置L_e處生成事件信號(hào)，則將與該事件信號(hào)相關(guān)聯(lián)的檢測(cè)器數(shù)據(jù)存儲(chǔ)在緩沖器中；

-?來自該緩沖器的數(shù)據(jù)被包括在針對(duì)位置L_e所積累的光譜中，但被標(biāo)記為與事件信號(hào)相關(guān)聯(lián)。

5.如權(quán)利要求1-4中的任一項(xiàng)中所要求保護(hù)的方法，其中

-?所述輸入射束包括從包括電子、X射線、伽馬射線、質(zhì)子、正電子或離子的組中所選擇的輻射；

-?所述受激光子輻射的通量包括X射線；

-?所述射束參數(shù)是從包括電流和強(qiáng)度的組中選擇的。

6.如權(quán)利要求5中所要求保護(hù)的方法，其中

-?所述輸入射束包括電子；

-?將所述受激光子輻射的通量使用能量色散X射線光譜術(shù)進(jìn)行檢查。

7.一種被構(gòu)建和布置成執(zhí)行如權(quán)利要求1-6中的任一項(xiàng)中所要求保護(hù)的方法的帶電粒子顯微鏡。