[發明專利]抗蝕劑膜清洗組合物

在審

• 申請號: 201310305473.8
• 申請日: 2013-07-19
• 公開（公告）號: CN103425001A
• 公開（公告）日: 2013-12-04
• 發明（設計）人: 楊桂望
• 申請（專利權）人: 楊桂望
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種用于脫除殘留的抗蝕劑和脫膜劑清潔組合物，其特征在于：包括有機胺化合物，有機溶劑，防腐劑和水。

2.如權利要求1所述的清潔組合物，其特征在于：所述防腐劑為氯化1-羥乙基-3-十六烷基咪唑防腐劑和三唑類防腐劑。

3.如權利要求2所述的清潔組合物，其特征在于：所述清潔組合物中的各組分的重量份分別為有機胺化合物1重量份～5重量份，有機溶劑3重量份～40重量份，氯化1-羥乙基-3-十六烷基咪唑防腐劑6重量份～10重量份，三唑類防腐劑0.05重量份～2重量份、水50重量份～70重量份。

4.如權利要求1至3所述的清潔組合物，其特征在于：所述溶劑是乙二醇醚、多元醇或這兩者的混合物。

5.如權利要求1至4所述的清潔組合物，其特征在于：所述氯化1-羥乙基-3-十六烷基咪唑的制備方法具體為，

第一步，1-十六烷基咪唑的制備，將1.79的咪唑和3.8mL的溴代十六烷在35mL的乙酸乙酯中混合，磁力攪拌10分鐘混合均勻。將混合物倒入容量為60mL的聚四氟乙烯內襯中，將聚四氟乙烯內襯密封入不銹鋼反應釜內，并放入數字式烘箱內，從室溫加熱至120℃恒溫反應16h后自然冷卻至室溫，然后將混合物過濾取出濾液，用蒸餾水洗滌數次以除去沒有參加反應的咪唑，用旋轉蒸發儀將溶劑乙酸乙酯蒸出，所得產物1-十六烷基咪唑在70℃真空干燥箱中干燥12小時至恒重。得到淡黃色液體，稱量產物；

第二步，將2.9g的1-十六烷基咪唑和1ml的2-氯乙醇在35ml的乙酸乙酯中混合，磁力攪拌10分鐘混合均勻，其中，反應物2-氯乙醇過量，使1-十六烷基咪唑充分反應，將混合物倒入容量為60mL的聚四氟乙烯內襯中，將聚四氟乙烯內襯密封入不銹鋼反應釜內，并放入數字式烘箱內，從室溫加熱至120℃，恒溫反應6h，自然冷卻至室溫。用旋轉蒸發儀將溶劑和過量的反應物2-氯乙醇蒸出，所得產物在70℃真空干燥箱中干燥12小時至恒重，得到的氯化1-羥乙基-3-十六烷基咪唑為白色固體。

6.如權利要求1至5所述的清潔組合物，其特征在于：三唑類防腐劑優選使用選自甲基苯并三唑、苯并三唑、氨基三唑、羧基苯并三唑、1-[雙(羥乙基)氨乙基]甲基苯并三唑、l-羥基苯并三唑(HBT)、以及硝基苯并三唑(NBT)中的至少一種化合物。