[發(fā)明專利]一種純化分離多晶硅尾氣中氯硅烷的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201310304919.5
• 申請日: 2013-07-19
• 公開（公告）號: CN103435044A
• 公開（公告）日: 2013-12-11
• 發(fā)明（設計）人: 陳朝霞
• 申請（專利權）人: 新特能源股份有限公司
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京中恒高博知識產(chǎn)權代理有限公司 11249
• 代理人: 夏晏平

1.一種純化分離多晶硅尾氣中氯硅烷的方法，氯硅烷包括三氯氫硅和四氯化硅，其特征為純化工藝方案如下：

將多晶硅生產(chǎn)中生產(chǎn)的還原反應尾氣、氫化反應尾氣、合成反應尾氣中的氫氣、三氯氫硅、四氯化硅、二氯二氫硅、氯化氫，所述以上尾氣通過冷媒介質進行冷卻，尾氣中冷凝下的氯硅烷進入下一工序；

冷凝下的氯硅烷進入精餾塔，塔釜使用蒸汽進行加熱氣化，塔頂設置冷卻器，塔頂排輕組分，塔釜排重組分，側線采出氯硅烷，進入下一工序；

側線精餾塔采出的氯硅烷，進入水解精餾塔，在進料位置設置高純濕氮氣，將高純濕氮氣與四氯化硅混合進入水解精餾塔內，塔釜設置再沸器，蒸汽為加熱源，塔釜排出重組分，塔頂通過氣相不凝氣排輕組分，塔頂冷凝氯硅烷一部分作為塔的回流，另一部分采出氯硅烷，塔頂氣相不凝氣通過塔頂回流緩沖罐排放至尾氣系統(tǒng)；

自水解精餾塔塔頂采出的氯硅烷液體進入氯硅烷吸附柱，吸附氯硅烷中的雜質，經(jīng)氯硅烷吸附柱進行凈化后的氯硅烷產(chǎn)品輸出進入下一工序；

自氯硅烷吸附柱出口輸出的氯硅烷進入氯硅烷分離塔，塔底排出四氯化硅，塔頂采出三氯氫硅產(chǎn)品，去做原料生產(chǎn)多晶硅；塔底四氯化硅再次進入下一工序；

自氯硅烷分離塔輸出的四氯化硅進入精餾塔進行提純，分離其中微量的三氯氫硅輕組分，塔釜采出四氯化硅產(chǎn)品。

2.根據(jù)權利要求1所述的純化分離多晶硅尾氣中氯硅烷的方法，其特征為根據(jù)還原尾氣，氫化尾氣及合成尾氣中氯硅烷雜質含量不同，在工序2）的精餾塔前面或后面可以增加精餾塔，予以進一步去除三氯氫硅和四氯化硅中的雜質。

3.根據(jù)權利要求1所述的純化分離多晶硅尾氣中氯硅烷的方法，其特征為水解精餾塔設置填料塔，填料為非金屬材料，塔內壁內襯有聚四氟乙烯。

4.根據(jù)權利要求1所述的純化分離多晶硅尾氣中氯硅烷的方法，其特征為進入水解精餾塔的高純濕氮氣的含水量控制在800-10000ppm，濕氮氣與氯硅烷的摩爾配比為1:20-1:100進行混合后進入水解精餾塔。