[發明專利]放置設備的放置頭的運動學保持系統

在審

• 申請號: 201310304630.3
• 申請日: 2013-07-18
• 公開（公告）號: CN103579046A
• 公開（公告）日: 2014-02-12
• 發明（設計）人: 翰尼斯·科斯特納;迪特馬爾·萊克納;弗洛里安·斯皮爾;馬丁·維道爾
• 申請（專利權）人: 貝思瑞士股份公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 黃剛;車文

1.放置設備的放置頭(2)的運動學保持系統，所述放置設備用于將電子部件或光學部件(7)安裝在襯底(3)上，所述運動學保持系統包括：

放置頭引導裝置(18)，包括用于保持所述放置頭(2)的放置頭支撐件(1)；和

放置頭對準裝置，用于調整所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的對準，其中

所述放置頭對準裝置包括接頭(4、4′)，所述放置頭(2)經由所述接頭被以可調整傾斜度的方式支撐在所述放置頭支撐件(1)上，并且其中所述放置頭對準裝置包括至少一個長度可變的保持構件，所述至少一個長度可變的保持構件被布置在所述放置頭支撐件(1)和所述放置頭(2)之間且與所述接頭(4、4′)成間距，所述至少一個長度可變的保持構件確定所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的樞轉位置，并且在放置操作期間，取決于由所述放置頭(2)擠壓抵靠所述襯底(3)的擠壓力而導致的所述放置頭引導裝置(18)的變形，所述至少一個長度可變的保持構件的長度能夠以對由所述放置頭引導裝置的變形而導致的所述放置頭(2)的軸線誤差即傾斜度進行補償的方式而改變。

2.根據權利要求1所述的保持系統，其中所述長度可變的保持構件具有平行于或橫向于所述放置頭(2)的縱向軸線(8)布置的縱向軸線。

3.根據權利要求1或2所述的保持系統，其中借助于放置頭控制臺(11)將所述放置頭(2)可樞轉地安裝在所述放置頭支撐件(1)上，其中所述長度可變的保持構件被支撐在所述放置頭控制臺(11)上。

4.根據上述權利要求中任何一項所述的保持系統，其中所述放置頭對準裝置包括多個接頭桿(15a、15b)，所述多個接頭桿經由接頭連接到所述放置頭(2)，且還連接到所述放置頭支撐件(1)，并且所述多個接頭桿將所述放置頭(2)保持在相對于所述放置頭支撐件(1)可改變的預定位置中，其中借助于所述長度可變的保持構件，所述接頭桿(15a、15b)的相對位置能夠以對所述放置頭(2)的由變形引起的所述軸線誤差即傾斜度進行補償的方式改變。

5.根據上述權利要求中任何一項所述的保持系統，其中所述長度可變的保持構件由以彈簧(12)為形式的受動元件組成，所述受動元件被布置在所述放置頭支撐件(1)和所述放置頭(2)之間，布置方式使得所述放置頭支撐件(1)一方面經由所述接頭(4)且另一方面經由所述彈簧(12)將所述擠壓力傳遞到所述放置頭(2)，其中由所述擠壓力產生的反作用力使所述彈簧(12)的長度產生改變。

6.根據權利要求1至4中任何一項所述的保持系統，其中所述長度可變的保持構件由行程控制或力控制的致動器(13)組成。

7.根據權利要求6所述的保持系統，其中所述致動器(13)包括電直接驅動器、音圈或壓電驅動器。

8.根據權利要求6或7所述的保持系統，其中所述致動器(13)經由杠桿布置或齒輪在所述放置頭(2)的軸向位置上動作。

9.根據上述權利要求中任何一項所述的保持系統，其中所述放置頭對準裝置包括運動阻擋裝置，用于阻擋所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的相對移動。

10.根據權利要求6至9中任何一項所述的保持系統，其中所述致動器(13)被形成為可鎖定的致動器(13)。

11.根據上述權利要求中任何一項所述的保持系統，其中所述放置頭(2)在所述放置頭(2)的上端區域或底端區域中被以鐘擺的方式懸掛在所述放置頭支撐件(1)上，并且借助于接頭(4、4′)在Z方向上支撐所述放置頭(2)，所述接頭具有至少一個旋轉自由度，并且至少一個長度可變的保持構件被設置在所述接頭(4、4′)的下方或上方，用于調整所述放置頭(2)相對于所述放置頭支撐件(1)的傾斜度。

12.根據權利要求11所述的保持系統，其中，所述接頭(4、4′)被布置為單軸線接頭、球窩接頭或萬向接頭。

13.根據上述權利要求中任何一項所述的保持系統，其中設置多個長度可變的保持構件，所述多個長度可變的保持構件以所述多個長度可變的保持構件在所述放置頭(2)上從不同方向動作的方式布置，使得所述放置頭(2)能夠在空間上多維樞轉。