[發(fā)明專利]一種用于電極桿固定的支架無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201310303708.X | 申請日： | 2013-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN104299876A | 公開（公告）日： | 2015-01-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李楠 | 申請（專利權(quán)）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/32 | 分類號： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 國省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 用于 電極 固定 支架 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種用于電極桿固定的支架，包括：支架部分①、支架部分②、尺寸及結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①材質(zhì)為耐高位、耐腐蝕、不易變形的不銹鋼材料。
3.如權(quán)利要求2所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分②材質(zhì)為耐高溫、耐腐蝕且不易碎的石棉橡膠材料。
4.如權(quán)利要求3所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①尺寸為：Φ350mm×5mm。
5.如權(quán)利要求4所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的支架部分①尺寸為：外徑75mm、內(nèi)徑30mm、高度50mm。
6.如權(quán)利要求5所述的一種用于固定電極桿的部件，其特征在于，其中所述的結(jié)構(gòu)為支架部分①之間、支架部分①與PECVD爐尾端蓋之間均有石棉橡膠材料的支架部分②做間隔。
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