[發(fā)明專(zhuān)利]一種新型的閉管擴(kuò)散用尾氣管

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310303700.3
• 申請(qǐng)日: 2013-07-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104294367A
• 公開(kāi)（公告）日: 2015-01-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 侯國(guó)峰
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B31/16
• 分類(lèi)號(hào): C30B31/16
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是一種新型結(jié)構(gòu)的尾氣管，用于閉管擴(kuò)散爐的尾排系統(tǒng)中。該結(jié)構(gòu)的主要目是利用少量N₂持續(xù)吹掃的方式來(lái)防止長(zhǎng)期運(yùn)行擴(kuò)散工藝后導(dǎo)致尾氣管難以拆卸的問(wèn)題。?

背景技術(shù)

進(jìn)入21世紀(jì)，電子信息產(chǎn)業(yè)的持續(xù)高速發(fā)展激勵(lì)和帶動(dòng)了集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，這就為微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了空前廣闊的發(fā)展空間，也為半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備提供了巨大的市場(chǎng)潛力。?

在所有半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備中，擴(kuò)散爐是集成電路生產(chǎn)線(xiàn)前工序的重要工藝設(shè)備之一，它的主要用途是對(duì)半導(dǎo)體進(jìn)行摻雜，即在高溫條件下將摻雜材料擴(kuò)散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類(lèi)型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。雖然某些工藝可以使用離子注入的方法進(jìn)行摻雜，但是熱擴(kuò)散仍是最主要、最普遍的摻雜方法。擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體集成電路工藝的基礎(chǔ)設(shè)備，它與半導(dǎo)體工藝互相依存、互相促進(jìn)、共同發(fā)展。?

擴(kuò)散工序作為電池制造中的最重要的一個(gè)環(huán)節(jié)，為了維持其工藝過(guò)程的穩(wěn)定性需要對(duì)擴(kuò)散的尾排系統(tǒng)做周期性的維護(hù)。而尾氣管的清洗維護(hù)是擴(kuò)散設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)的主要內(nèi)容，但長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行工藝產(chǎn)生的偏磷酸凝結(jié)在尾氣管與擴(kuò)散反應(yīng)管接口處導(dǎo)致尾氣管無(wú)法拆卸，這對(duì)擴(kuò)散的尾排系統(tǒng)維護(hù)造成了極大的不便。故而，發(fā)明一種新型的便于拆卸的尾氣管是很有必要的。?

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明針對(duì)電池制造擴(kuò)散工序清洗維護(hù)中遇到的難題而設(shè)計(jì)的一種新型結(jié)構(gòu)的尾氣管。利用少量N2持續(xù)吹掃的方式來(lái)防止工藝運(yùn)行中產(chǎn)生的偏磷酸氣體滯留在尾氣管與擴(kuò)散反應(yīng)管的接口處，這樣就不會(huì)產(chǎn)生偏磷酸凝固在接口?處而導(dǎo)致尾氣管無(wú)法拆卸的問(wèn)題。?

本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：?

1、一種新型的尾氣管，包括：材質(zhì)、結(jié)構(gòu)尺寸和技術(shù)要求。?

2、如權(quán)利要求1所述的該新型的尾氣管，其特征在于，材質(zhì)為石英。?

3、如權(quán)利要求2所述的該新型的尾氣管，其特征在于在前端50mm長(zhǎng)接口處有一個(gè)N₂進(jìn)氣通道。?

4、如權(quán)利要求3所述的該新型的尾氣管，其特征在于便于拆卸和清洗，使用壽命長(zhǎng)。?

本發(fā)明具有如下優(yōu)點(diǎn)：?

1.便于拆卸，進(jìn)而極大地延長(zhǎng)了尾氣管的使用壽命。?

2.便于清洗維護(hù)。?

3.降低了因擴(kuò)散尾排維護(hù)的使用成本，增加了設(shè)備實(shí)際使用時(shí)間。?

本發(fā)明具有如下缺點(diǎn)：?

1.新型的尾氣管制作工藝較比舊式尾氣管復(fù)雜一點(diǎn)?

附圖說(shuō)明

圖1舊式尾氣管結(jié)構(gòu)?

圖2新型尾氣管結(jié)構(gòu)?

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步介紹，這些描述都是說(shuō)明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權(quán)利要求的范圍所限定。?

一種新型的閉管擴(kuò)散用尾氣管，包括：材質(zhì)、結(jié)構(gòu)尺寸和技術(shù)要求。?

1.材質(zhì)和技術(shù)要求?

該尾氣管材質(zhì)：石英?

2.結(jié)構(gòu)尺寸?

總長(zhǎng)度2260mm。?

主管道管徑，外徑φ200mm×壁厚1.5mm。?

前端接口球碗，35/25標(biāo)準(zhǔn)球碗。該球碗尾部延長(zhǎng)外徑φ28mm×壁厚1.5mm的管道外包于尾氣管主管道，且垂直外接內(nèi)徑φ10mm×壁厚1.5mm的N₂進(jìn)氣管道。?

后端接口球碗，28/15標(biāo)準(zhǔn)球碗。?

3.技術(shù)要求?

1)最高耐溫1200℃?

2)退火消除內(nèi)應(yīng)力。?

以上所述已對(duì)本發(fā)明的內(nèi)容做了詳盡說(shuō)明。對(duì)本領(lǐng)域一般技術(shù)人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對(duì)它所做的任何顯而易見(jiàn)的改動(dòng)，都構(gòu)成對(duì)本發(fā)明專(zhuān)利的侵犯，將承擔(dān)相應(yīng)的法律責(zé)任。?