[發明專利]一種控制高壓能量切換的方法

無效

• 申請號: 201310303697.5
• 申請日: 2013-07-18
• 公開（公告）號: CN104298133A
• 公開（公告）日: 2015-01-21
• 發明（設計）人: 丁振理
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: G05B19/04
• 分類號: G05B19/04
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本發明是一種控制高壓能量切換的方法，安全可控地提供給負載所需求的高壓能量。

背景技術

集成電路制造技術及工藝是關乎國計民生的戰略性工程，對保障國家安全和增強綜合國力具有重大戰略意義，是一種高新技術產業。集成電路芯片制造概括的來講就是將元器件做在極小半導體芯片上的過程。通常情況下，要完成集成電路芯片的制造過程需要數十種工藝設備的數百道工序。一條工藝線主要有曝光、刻蝕、離子注入、氧化、鍍膜等工藝，這些工藝多次循環往復進行。離子注入技術與常規熱摻雜工藝相比具有高精度的劑量均勻性與重復性，橫向擴散小等優點。離子注入克服了常規工藝的限制，提高了電路的集成度、速度、成品率和壽命，降低了成本和功耗，因此離子注入機廣泛用于摻雜工藝，當代VLSI、ULSI等工藝重要特征之一就是“全離子注入”。離子注入對控制半導體的摻雜剖面，結深，保證器件各項電參數非常重要。

經過對低能大束流項目的指標參數和工藝要求分析，但由于工藝技術代和工藝特點不同，從注入安全性方面和工藝調試方面提出了更高的要求，因此高壓能量的提供可控性起到了關鍵性的作用，于是通過負載能量需求控制高壓能量安全切換，才能確保注入工藝的安全性和可靠性。

發明內容

本發明針對控制高壓能量切換的一種方法，采用氣動隔離和控制電路。

本發明通過以下技術方案實現：

1.一種控制高壓能量切換的方法，其框圖圖1包括：需求命令按鈕(1)、上位機(2)、D/A轉換(3)、氣動模塊(4)、氣動開關(5)、電阻(6)、高壓二極管(7)、負載(8)、負高壓(9)。此方法控制高壓能量安全切換情況。

2.如權利要求1所述的一種控制高壓能量切換的方法，其特征在于，其中所述的高壓二極管(7)單向導通性質，使二極管兩端保持高壓狀態，整個電路中串聯一個15kΩ電阻(6)，從而達到限制電路電流，使電路滿足電氣需要，通過氣動模塊(4)控制氣動開關(5)，從而達到高壓能量安全切換的目的。

3.如權利要求1所述的一種控制高壓能量切換的方法，其特征在于，其中所述的命令按鈕(1)輸出的數字量輸入給上位機(2)，上位機(2)通過設定的算法計算出控制值，控制值輸入給D/A轉換(3)變換成模擬量。

4.如權利要求1所述的一種控制高壓能量切換的方法，其特征在于，其中所述的D/A轉換(3)輸出的模擬量輸入到氣動模塊(4)，通過氣動模塊(4)控制高壓能量切換裝置(12)的氣動開關(5)，由此控制高壓能量切換裝置(12)向負載提供能量的情況。

本發明具有如下優點：

1.穩定可靠高壓能量需求控制，滿足更高的工藝要求。

2.通過負載能量需求控制高壓能量安全切換，才能確保注入工藝的安全性。

附圖說明

圖1是高壓能量切換控制的框圖

圖2是高壓能量切換控制的流程圖

具體實施方式

下面結合附圖的具體實施例對本發明作進一步介紹，這些描述都是說明性的，本發明不限于此。本發明的范圍僅由所附權利要求的范圍所限定。

一種控制高壓能量切換的方法，其框圖圖1包括：需求命令按鈕(1)、上位機(2)、D/A轉換(3)、氣動模塊(4)、氣動開關(5)、電阻(6)、高壓二極管(7)、負載(8)、負高壓(9)。此方法控制高壓能量安全切換情況。

需求按鈕(1)發送能量需求信號，當上位機(2)收到信號并且通過設定的算法計算出控制值，控制值輸入給D/A轉換(3)變換成模擬量。D/A轉換(3)輸出的模擬量輸入到啟動模塊控制器(4)，通過氣動模塊控制器(4)控制氣動開關(5)打開或者閉合，由此高壓能量向負載提供能量或者斷開能量，從而達到安全可控的為負載提供高壓能量。

流程圖圖2說明了控制過程，開始初始化負載高壓需求情況(10)，能量切換裝置(12)控制高壓向負載提供情況，通過上位機(2)獲得高壓能量需求命令(1)，采集的數據與高壓能量需求的情況比較，判斷是否需求高壓能量(11)，若需要高壓能量則通過能量切換裝置(12)控制氣動模塊(13)影響氣動開關(5)打開，從而達到向負載提供高能電壓的目的，若不需要高壓能量則通過能量切換裝置(12)控制氣動模塊(13)影響氣動開關(5)關閉，從而達到向負載安全斷開高能電壓的目的。如果繼續控制則持續等待需求命令(16)，不繼續控制則結束(17)。

以上所述已對本發明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。