[發明專利]大口徑凸高次非球面的檢測系統

有效

• 申請號: 201310303322.9
• 申請日: 2013-07-18
• 公開（公告）號: CN103335610A
• 公開（公告）日: 2013-10-02
• 發明（設計）人: 范斌;閆鋒濤;侯溪;陳強;萬勇建;伍凡
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 梁愛榮

1.一種大口徑凸高次非球面光學元件的檢測系統，其特征在于：包括相移干涉儀、輔助球面反射鏡、計算全息片及計算機，被測光學元件是大口徑凸高次非球面的光學元件，計算機與相移干涉儀連接，計算全息片和被測大口徑凸高次非球面構成的光學系統的前焦點與相移干涉儀發出的光波焦點重合，后焦點與輔助球面反射鏡的球心重合，相移干涉儀發出的光波經過計算全息片后，由被測大口徑凸高次非球面反射后成為標準球面波，標準球面波經過輔助球面反射鏡反射后，標準球面波原路返回至干涉儀中，實現對被測大口徑凸高次非球面對應區域的子孔徑零檢測，通過調整被測大口徑凸高次非球面和輔助球面反射鏡，使相移干涉儀獲得被測大口徑凸高次非球面上有相互重疊區域的子區域，最后計算機中的數據處理單元對所得到的子區域數據進行處理，得到被測大口徑凸高次非球面的全口徑面形分布信息。

2.如權利要求1所述大口徑凸高次非球面的檢測系統，其特征在于：利用相移干涉儀檢測得到被測大口徑凸高次非球面的相鄰兩個子孔徑間存在的重疊區域，用以實現數據拼接處理。

3.如權利要求1所述大口徑凸高次非球面的檢測系統，其特征在于：計算全息片用于產生測試光波、產生對準標志。

4.如權利要求1所述大口徑凸高次非球面的檢測系統，其特征在于：根據被測大口徑凸高次非球面的口徑及輔助球面鏡反射鏡的參數基本對應關系，把大口徑凸高次非球面分成一個環帶或兩個以上的環帶進行檢測。

5.如權利要求4所述大口徑凸高次非球面檢測的系統，其特征在于：所述基本對應關系是R和D分別是輔助球面反射鏡的曲率半徑和口徑，f和d分別是被測大口徑凸高次非球面的后焦距和被測口徑。

6.如權利要求1所述大口徑凸高次非球面檢測的系統，其特征在于：設定經過輔助球面反射鏡反射的光波能夠完全覆蓋住被測大口徑凸高次非球面鏡，被測大口徑凸高次非球面鏡能一次性進行全口徑面形信息檢測。

7.如權利要求1所述大口徑凸高次非球面的檢測系統，其特征在于：被測凸高次非球面將光波反射變成標準平面波后，輔助球面反射鏡變成輔助平面鏡。

8.一種使用權利要求1所述檢測系統的凸球面鏡或凸非球面鏡的檢測裝置，其特征在于：包括相移干涉儀、輔助球面反射鏡、計算全息片及計算機，當被測光學元件為凸球面鏡或凸非球面鏡時，使計算全息片和凸球面鏡或凸非球面鏡構成的光學系統滿足把相移干涉儀發出的光波在凸球面鏡或凸非球面鏡上面反射后變成標準平面波或者標準球面波，用于實現所對凸球面鏡或凸非球面鏡進行檢測。