[發(fā)明專(zhuān)利]大口徑凸高次非球面的檢測(cè)系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310303322.9
• 申請(qǐng)日: 2013-07-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN103335610A
• 公開(kāi)（公告）日: 2013-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范斌;閆鋒濤;侯溪;陳強(qiáng);萬(wàn)勇建;伍凡
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/24
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 梁愛(ài)榮

1.一種大口徑凸高次非球面光學(xué)元件的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：包括相移干涉儀、輔助球面反射鏡、計(jì)算全息片及計(jì)算機(jī)，被測(cè)光學(xué)元件是大口徑凸高次非球面的光學(xué)元件，計(jì)算機(jī)與相移干涉儀連接，計(jì)算全息片和被測(cè)大口徑凸高次非球面構(gòu)成的光學(xué)系統(tǒng)的前焦點(diǎn)與相移干涉儀發(fā)出的光波焦點(diǎn)重合，后焦點(diǎn)與輔助球面反射鏡的球心重合，相移干涉儀發(fā)出的光波經(jīng)過(guò)計(jì)算全息片后，由被測(cè)大口徑凸高次非球面反射后成為標(biāo)準(zhǔn)球面波，標(biāo)準(zhǔn)球面波經(jīng)過(guò)輔助球面反射鏡反射后，標(biāo)準(zhǔn)球面波原路返回至干涉儀中，實(shí)現(xiàn)對(duì)被測(cè)大口徑凸高次非球面對(duì)應(yīng)區(qū)域的子孔徑零檢測(cè)，通過(guò)調(diào)整被測(cè)大口徑凸高次非球面和輔助球面反射鏡，使相移干涉儀獲得被測(cè)大口徑凸高次非球面上有相互重疊區(qū)域的子區(qū)域，最后計(jì)算機(jī)中的數(shù)據(jù)處理單元對(duì)所得到的子區(qū)域數(shù)據(jù)進(jìn)行處理，得到被測(cè)大口徑凸高次非球面的全口徑面形分布信息。

2.如權(quán)利要求1所述大口徑凸高次非球面的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：利用相移干涉儀檢測(cè)得到被測(cè)大口徑凸高次非球面的相鄰兩個(gè)子孔徑間存在的重疊區(qū)域，用以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)拼接處理。

3.如權(quán)利要求1所述大口徑凸高次非球面的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：計(jì)算全息片用于產(chǎn)生測(cè)試光波、產(chǎn)生對(duì)準(zhǔn)標(biāo)志。

4.如權(quán)利要求1所述大口徑凸高次非球面的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：根據(jù)被測(cè)大口徑凸高次非球面的口徑及輔助球面鏡反射鏡的參數(shù)基本對(duì)應(yīng)關(guān)系，把大口徑凸高次非球面分成一個(gè)環(huán)帶或兩個(gè)以上的環(huán)帶進(jìn)行檢測(cè)。

5.如權(quán)利要求4所述大口徑凸高次非球面檢測(cè)的系統(tǒng)，其特征在于：所述基本對(duì)應(yīng)關(guān)系是R和D分別是輔助球面反射鏡的曲率半徑和口徑，f和d分別是被測(cè)大口徑凸高次非球面的后焦距和被測(cè)口徑。

6.如權(quán)利要求1所述大口徑凸高次非球面檢測(cè)的系統(tǒng)，其特征在于：設(shè)定經(jīng)過(guò)輔助球面反射鏡反射的光波能夠完全覆蓋住被測(cè)大口徑凸高次非球面鏡，被測(cè)大口徑凸高次非球面鏡能一次性進(jìn)行全口徑面形信息檢測(cè)。

7.如權(quán)利要求1所述大口徑凸高次非球面的檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于：被測(cè)凸高次非球面將光波反射變成標(biāo)準(zhǔn)平面波后，輔助球面反射鏡變成輔助平面鏡。

8.一種使用權(quán)利要求1所述檢測(cè)系統(tǒng)的凸球面鏡或凸非球面鏡的檢測(cè)裝置，其特征在于：包括相移干涉儀、輔助球面反射鏡、計(jì)算全息片及計(jì)算機(jī)，當(dāng)被測(cè)光學(xué)元件為凸球面鏡或凸非球面鏡時(shí)，使計(jì)算全息片和凸球面鏡或凸非球面鏡構(gòu)成的光學(xué)系統(tǒng)滿(mǎn)足把相移干涉儀發(fā)出的光波在凸球面鏡或凸非球面鏡上面反射后變成標(biāo)準(zhǔn)平面波或者標(biāo)準(zhǔn)球面波，用于實(shí)現(xiàn)所對(duì)凸球面鏡或凸非球面鏡進(jìn)行檢測(cè)。