[發明專利]一種線圈支撐裝置及等離子體加工設備

有效

• 申請號: 201310302887.5
• 申請日: 2013-07-18
• 公開（公告）號: CN104299870B
• 公開（公告）日: 2017-03-22
• 發明（設計）人: 郭浩;陳春偉;丁培軍
• 申請（專利權）人: 北京北方微電子基地設備工藝研究中心有限責任公司
• 主分類號: H01J37/02
• 分類號: H01J37/02;H01J37/32
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司11112
• 代理人: 彭瑞欣,張天舒

1.一種線圈支撐裝置，用于支撐位于反應腔室的頂部上方的線圈，其特征在于，所述線圈支撐裝置包括屏蔽罩、線圈支架和升降驅動機構，其中

所述屏蔽罩固定在反應腔室的頂部，所述線圈及用于固定所述線圈的線圈支架位于所述屏蔽罩的內部；

所述升降驅動機構位于所述屏蔽罩的頂部上方，并與所述線圈支架連接，用以驅動所述線圈支架及與之連接的所述線圈在屏蔽罩內相對于所述反應腔室作升降運動。

2.根據權利要求1所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述線圈為多層，且沿豎直方向間隔設置；并且

所述線圈支撐裝置包括間距調節機構，所述間距調節機構包括驅動單元和可沿豎直方向伸縮的伸縮機構，其中，

所述伸縮機構，包括多個伸縮單元，各所述伸縮單元分別與各層線圈連接；

所述驅動單元與所述伸縮機構連接，用以驅動所述伸縮機構沿豎直方向伸縮，帶動各層線圈彼此靠近或遠離。

3.根據權利要求2所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述線圈支架包括水平固定板和豎直導向板，其中：

所述水平固定板與所述升降驅動機構連接，以驅動所述線圈支架做升降運動；

所述豎直導向板的頂端固定在所述水平固定板的下表面上；

在所述豎直導向板上間隔設定距離設置有第一豎直導軌，所述第一豎直導軌的數量與所述線圈的層數相對應；

所述伸縮單元包括剪叉連桿、滑動部件、水平滑動軸和端部連桿，其中，

所述滑動部件和水平滑動軸各自的數量與所述線圈的層數相對應；所述水平滑動軸的一端與對應的第一豎直導軌配合，在所述伸縮單元沿豎直方向伸縮時，沿所述第一豎直導軌滑動；所述水平滑動軸上設置有導向槽，所述滑動部件沿所述導向槽在水平滑動軸上水平移動；所述水平滑動軸上設置有用于固定各層線圈的線圈固定架；

所述剪叉連桿分別位于各個相鄰的兩層線圈之間，且每個所述剪叉連桿由兩個交叉設置且彼此鉸接的連桿組成，并且，在所述兩個連桿中，其中一個連桿的兩個自由端分別與位于該連桿上方且相鄰的水平滑動軸上的滑動部件，以及位于該連桿下方且相鄰的所述水平滑動軸的一個自由端鉸接；另一個連桿的兩個自由端分別與位于該連桿上方且相鄰的所述水平滑動軸的一個自由端，以及位于該連桿下方且相鄰的水平滑動軸上的滑動部件鉸接；

所述端部連桿包括頂端連桿和底端連桿，其中，所述頂端連桿和底端連桿分別由兩個長度相同，且在一端彼此鉸接的連桿組成，并且，在所述頂端連桿中，其由兩個連桿鉸接的端部與所述驅動單元球鉸接，其中一個連桿的自由端與位于最上層的水平滑動軸上的滑動部件鉸接；另一個連桿的自由端與位于最上層的水平滑動軸的自由端鉸接；

在所述底端連桿中，其由兩個連桿鉸接的端部固定；其中一個連桿的自由端與位于最下層的所述水平滑動軸上的滑動部件鉸接；另一個連桿的自由端與位于最下層的所述水平滑動軸的自由端鉸接；

當所述驅動單元驅動所述頂端連桿的兩個連桿鉸接的端部作豎直運動時，所述底端連桿的兩個連桿鉸接的端部固定不動，且所述剪叉連桿之間的夾角減小或增大，從而所述剪叉連桿在驅動所述水平滑動軸沿所述第一豎直導軌豎直滑動的同時，驅動所述滑動部件沿所述導向槽在水平滑動軸上水平移動，以帶動所述水平滑動軸水平移動。

4.根據權利要求3所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述驅動單元包括旋轉驅動源、絲杠和絲套，其中

在所述絲套的頂端設置有螺紋孔，所述螺紋孔與所述絲杠相配合；在所述絲套的底端設置有球頭連接件，所述絲套借助所述球頭連接件與所述頂端連桿的兩個連桿的鉸接處球鉸接；

所述旋轉驅動源固定在所述水平固定板上，且其驅動軸與所述絲杠的頂端固定連接；在所述旋轉驅動源的驅動下，所述絲杠順時針或逆時針旋轉，且與所述絲套在豎直方向上產生相對運動，從而帶動所述頂端連桿上升或下降。

5.根據權利要求1所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述升降驅動機構包括旋轉電機和傳動組件，其中，

所述旋轉電機固定在所述屏蔽罩上，用以提供旋轉動力；

所述傳動組件用于將由所述旋轉電機提供的旋轉動力轉換為升降直線運動，并傳遞至所述線圈支架。

6.根據權利要求5所述的線圈支撐裝置，其特征在于，所述傳動組件的傳動方式包括齒輪齒條傳動或絲杠傳動。