[發明專利]一種氣相沉積方法在審
| 申請號： | 201310302856.X | 申請日： | 2013-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN103343334A | 公開（公告）日： | 2013-10-09 |
| 發明（設計）人： | 戴煜;胡祥龍 | 申請（專利權）人： | 湖南頂立科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C16/458 | 分類號： | C23C16/458;C23C16/26;C23C16/32 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏曉波 |
| 地址： | 410118 湖南省長沙市長*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 沉積 方法 | ||
1.一種氣相沉積方法，其特征在于，包括以下步驟：
步驟A：對參與沉積反應的原料進行加熱，直至成為氣相化學物質；
步驟B：將所述氣相化學物質引進放置好待加工產品的沉積室內進行沉積反應；
步驟C：旋轉所述沉積室內的所述待加工產品。
2.根據權利要求1所述的氣相沉積方法，其特征在于，步驟B中通過真空泵產生的牽引力將所述氣相化學物質引進所述沉積室內。
3.根據權利要求1所述的氣相沉積方法，其特征在于，步驟B中的沉積過程經歷時間為20天。
4.根據權利要求1所述的氣相沉積方法，其特征在于，步驟C中通過旋轉所述沉積室內用于盛放所述待加工產品的料盤帶動所述待加工產品旋轉。
5.根據權利要求4所述的氣相沉積方法，其特征在于，所述料盤設置于氣相沉積爐的所述沉積室內，并通過連接軸與所述沉積室外的旋轉電機連接，所述連接軸與所述氣相沉積爐之間為動密封。
6.根據權利要求5所述的氣相沉積方法，其特征在于，所述連接軸位于所述沉積室外的一端通過減速機與所述旋轉電機連接。
7.根據權利要求4所述的氣相沉積方法，其特征在于，所述料盤沿垂直于所述料盤所在平面的旋轉軸線旋轉。
8.根據權利要求7所述的氣相沉積方法，其特征在于，所述旋轉軸線位于所述料盤的中心。
9.根據權利要求1所述的氣相沉積方法，其特征在于，在步驟C之后還包括步驟D：對完成沉積過程的產品進行石墨化處理。
10.根據權利要求1-9任一項所述的氣相沉積方法，其特征在于，所述氣相化學物質為碳氫氣體。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
