[發明專利]一種無機全固態電致變色器件及其制備方法

有效

• 申請號: 201310302796.1
• 申請日: 2013-07-15
• 公開（公告）號: CN103365017A
• 公開（公告）日: 2013-10-23
• 發明（設計）人: 王爍;胡冰;劉雙
• 申請（專利權）人: 天津南玻節能玻璃有限公司
• 主分類號: G02F1/153
• 分類號: G02F1/153;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/08
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 韓敏

1.一種無機全固態電致變色器件，其結構為：玻璃基片，以及依次在所述玻璃基片上沉積的透明導電層A/電致變色層/離子導電層/透明導電層B；

其中，所述透明導電層A和透明導電層B均為摻鋁氧化鋅(ZAO)薄膜，所述電致變色層為氧化鎢(WO₃)薄膜，所述離子導電層為鈦酸鋰(Li₄Ti₅O₁₂)薄膜。

2.如權利要求1所述的一種無機全固態電致變色器件，其特征在于：所述透明導電層A的厚度為500-900nm；所述電致變色層的厚度為50-800nm；所述離子導電層的厚度為200-350nm；所述透明導電層B的厚度為500-900nm。

3.如權利要求1所述的一種無機全固態電致變色器件，其特征在于：所述透明導電層A的厚度為600-800nm；所述電致變色層的厚度為4000-600nm；所述離子導電層的厚度為250-300nm；所述透明導電層B的厚度為600-800nm。

4.如權利要求1-3任一項所述的一種無機全固態電致變色器件，其特征在于：所述鈦酸鋰(Li₄Ti₅O₁₂)薄膜為具有尖晶石結構的多晶膜。

5.如權利要求1-3任一項所述的一種無機全固態電致變色器件，其特征在于：所述摻鋁氧化鋅(ZAO)薄膜為具有六角纖鋅礦結構的多晶膜。

6.一種如權利要求1所述無機全固態電致變色器件的制備方法，其特征在于：依次包括(1)采用直流磁控濺射法在清洗干凈的玻璃基片上制備ZAO薄膜的過程；(2)采用直流磁控濺射法在所述ZAO薄膜上制備WO₃薄膜的過程；(3)采用射頻磁控濺射法在所述WO₃薄膜上制備Li₄Ti₅O₁₂薄膜的過程；(4)采用直流磁控濺射法在所述Li₄Ti₅O₁₂薄膜上制備ZAO薄膜的過程。

7.如權利要求6所述的無機全固態電致變色器件的制備方法，其特征在于：所述步驟(3)中濺射靶材為Li₄Ti₅O₂陶瓷靶，所述Li₄Ti₅O₂陶瓷靶為氧化鋰和金屬鈦經均化真空壓制成型后，真空燒結而成的靶材，其中鋰元素、鈦元素和氧元素的摩爾比是4∶5∶2。