[發明專利]降低應力的激光器芯片結構和熱沉結構及其制備方法有效
| 申請號: | 201310302731.7 | 申請日: | 2013-07-17 |
| 公開(公告)號: | CN103427330A | 公開(公告)日: | 2013-12-04 |
| 發明(設計)人: | 李豐 | 申請(專利權)人: | 丹陽聚辰光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H01S5/022 | 分類號: | H01S5/022;H01S5/024 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 212300 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 降低 應力 激光器 芯片 結構 及其 制備 方法 | ||
1.一種降低應力的激光器芯片結構,包括激光器芯片主體(4),激光器芯片主體(4)具有正極(6)和與外部電極電性連接的負極(7),正極(6)上設置有多個發光部(9),并且發光部(9)之間設置有第一凹槽(8),其特征在于:還包括熱沉結構,熱沉結構包括熱沉主體(1),熱沉主體(1)的正面(2)通過焊料層(5)焊接在激光器芯片主體(4)的正極(6)上,在熱沉主體(1)的位于激光器芯片主體(4)的第一凹槽(8)相對應的部位上開有第二凹槽(3),并且該第二凹槽(3)與第一凹槽(8)一一對應。
2.根據權利要求1所述的降低應力的激光器芯片結構,其特征在于:所述的熱沉結構還包括金屬結構層(10),熱沉主體(1)的背面通過焊料(11)沉鍍在金屬結構層(5)上。
3.根據權利要求1所述的降低應力的激光器芯片結構,其特征在于:所述的熱沉主體(1)由金屬或陶瓷或金剛石或金屬基復合材料制成。
4.根據權利要求1所述的降低應力的激光器芯片結構,其特征在于:所述的熱沉主體(1)為多邊形的片狀或多邊形的塊狀。
5.根據權利要求1所述的降低應力的激光器芯片結構,其特征在于:所述的多個第二凹槽(3)為等間距排列狀,第二凹槽(3)的寬度d小于第一凹槽(8)的寬度D,并且第二凹槽(3)的寬度d為0.01mm~0.02mm。
6.根據權利要求1所述的降低應力的激光器芯片結構,其特征在于:所述的第二凹槽(3)的長度大于第一凹槽(8)的長度。
7.根據權利要求1所述的降低應力的激光器芯片結構,其特征在于:所述的第二凹槽(3)的縱向深度h大于焊料層(5)的厚度H。
8.一種熱沉結構,其特征在于:它采用如權利要求1至7中任一項所述的降低應力的激光器芯片結構中的熱沉結構。
9.一種熱沉結構的制備方法,其特征在于該方法的步驟如下:
1)選用材料加工成所需要的多邊形片狀或塊狀的基體;
2)將基體上貼激光器芯片的部位進行表面拋光;
3)在基體上貼激光器芯片的部位上加工出第二凹槽(3),形成熱沉主體(1),并保證:a)第二凹槽(3)的縱向與基體上貼激光器芯片的平面垂直;b)第二凹槽(3)與激光器芯片發光部(9)之間的第一凹槽(8)一一對應;
4)在熱沉主體(1)的背面熱沉鍍金屬結構層(10),完成整個熱沉結構的制作。
10.一種熱沉結構的制備方法,其特征在于該方法的步驟如下:
1)選用材料加工成所需要的多邊形片狀或塊狀的基體;
2)在基體上貼激光器芯片的部位上加工出第二凹槽(3),形成熱沉主體(1),并保證:a)第二凹槽(3)的縱向與基體上貼激光器芯片的平面垂直;b)第二凹槽(3)與激光器芯片發光部(9)之間的第一凹槽(8)一一對應;
3)將熱沉主體(1)上貼激光器芯片的部位進行表面拋光;
4)在熱沉主體(1)的背面熱沉鍍金屬結構層(10),完成整個熱沉結構的制作。
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