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[發明專利]一種高純砷的制備方法有效

專利信息
申請號: 201310302403.7 申請日: 2013-07-18
公開(公告)號: CN103388085A 公開(公告)日: 2013-11-13
發明(設計)人: 許文林;李樹亮;徐福利;張小興;王雅瓊 申請(專利權)人: 揚州大學
主分類號: C22B30/04 分類號: C22B30/04
代理公司: 南京知識律師事務所 32207 代理人: 盧亞麗
地址: 225009 *** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 高純 制備 方法
【說明書】:

技術領域

發明涉及一種高純砷的制備方法,特別是以工業級砷粗品為原料經氧化-酯化-精餾-水解-還原耦合技術制備高純砷的工藝方法,屬于精細化工技術領域。

背景技術

1.1制備高純砷的重要性

電子信息材料支撐著通信、計算機、網絡、半導體、光電、新能源、微機械、工業自動化等現代高科技產業,是電子信息產業的重要基礎材料。高純砷(質量分數不小于99.999%)是制備半導體材料砷化鎵(GaAs)和砷化銦(InAs)以及其他高純砷化合物(GaAlAs、GaInAsP等)的重要原料,高純砷也用作為半導體材料鍺和硅的重要摻雜劑。砷的化合物還用于制造農藥、防腐劑、染料和醫藥等。

1.2現有工藝技術及存在的主要問題

目前,現有工業化高純砷的制備工藝主要有氯化法(液相法)和升華法(固相法)。

1.氯化法

氯化法也稱液相法,是國內外普遍采用的制備高純砷的方法。該法一般以含砷95%~99%的粗砷為原料,由升華、氯化、精餾分離精制、氫氣還原等單元過程組成。

(1)升華:利用砷易升華,而鐵、鋅等雜質難升華的特點進行分離。一般在真空升華爐中進行,控制升華溫度615℃以上,使粗砷中的砷升華,將粗砷中的鐵、鋅等雜質分離脫除。

(2)氯氣氯化:在氯氣反應器中,氯氣與經上一步升華操作分離脫除鐵、鋅等雜質的物料在200℃~250℃下與干燥氯氣發生氯化反應生成三氯化砷,將常溫、常壓下以固相物料存在的砷轉變為液相物料三氯化砷,液相物料三氯化砷有利于進一步分離脫除硫、硒和碲等雜質,得到高純三氯化砷中間產物。

(3)精餾:在精餾塔中,利用三氯化砷和硫、硒和碲的氯化物揮發性的差異,采用精餾分離方法分離脫除硫、硒和碲等雜質,得到高純三氯化砷中間產物。

(4)氫氣還原:在管式反應器中,以氫氣為還原劑,將精餾后得到的高純三氯化砷,在高溫下還原為單質砷。

氯化法制備高純砷的工藝技術較成熟,生產的產品質量高,采用該工藝技術目前得到的產品純度可達99.999%以上。但是,該工藝技術存在以下問題:

(1)資源利用率低,廢氣數量大:氯化法的核心技術是砷與氯氣發生氯化反應生成三氯化砷,經過分離精制得到高純三氯化砷,再經氫氣還原得到單質砷,副產生氯化氫。在該工藝過程中,消耗氯氣,產生大量氯化氫廢氣,且難以實現氯氣的循環利用,不僅廢氣數量大,而且也造成氯氣資源的浪費。

(2)安全性差:氯化法的關鍵中間產物三氯化砷是一種易揮發的劇毒化學品,容易對人畜造成致命傷害,目前被國際化武組織列為核查產品,采用該工藝技術生產面臨嚴重的環保壓力問題,對生產的安全性要求極高。

(3)設備腐蝕嚴重:因為在氯化、精餾、還原等過程中存在氯氣、氯化氫及含氯化合物,因此,氯化法對生產設備的要求極高,而且設備腐蝕嚴重。

2.升華法

升華法是以粗砷為原料,由升華、氧化、洗滌-升華、多級精餾、還原等單元過程組成。

(1)升華:利用砷易升華,而鐵、鋅等雜質難升華的特點進行分離。一般在真空升華爐中進行,控制升華溫度615℃以上,使粗砷中的砷升華,將粗砷中的鐵、鋅等雜質分離脫除。

(2)氧化-洗滌:在氧氣反應器中,經上一步升華分離操作脫除鐵、鋅等雜質的物料與氧氣發生氧化反應生成砷氧化物(主要為As2O3,少量As2O5),利用氧化產物在水中的溶解性和升華性質的差別分離脫除雜質。

(3)洗滌-升華蒸餾:將上一步氧化反應生成砷氧化物首先進行水洗操作,以除去SeO2,有利于進一步分離脫除硫、硒和碲等雜質,得到高純氧化砷中間產物。然后進行升華蒸餾操作以除去Sb2O3,得到分離精制得到高純三氯化砷中間產物。

(4)還原反應:在還原設備中,以氫氣為還原劑,在高溫下將氧化砷還原為單質砷。

升華法生產工藝基本解決了氯化法存在的污染問題和安全隱患,大幅度減少了污染物的生成,具有生成工藝流程短、除雜工藝簡單,成本低,設備簡單,選用材料方便及產生的副產物少等優點。但是,該工藝技術還存在以下問題:

(1)雜質含量高,產品質量不穩定:升華法在整個生產過程中處理的物料為固相或者氣-固物料,得到的三氧化二砷產品通常雜質含量偏高,而且產品質量不穩定。

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