[發(fā)明專利]沉積設(shè)備、制造有機(jī)發(fā)光顯示設(shè)備的方法及顯示設(shè)備

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201310301733.4
• 申請(qǐng)日: 2013-07-15
• 公開（公告）號(hào): CN103540896A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 崔永默
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三星顯示有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/24
• 分類號(hào): C23C14/24;C23C14/04;C23C14/50;C23C14/56;H01L51/56;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/10
• 代理公司: 北京銘碩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星;韓芳

1.一種有機(jī)層沉積設(shè)備，所述有機(jī)層沉積設(shè)備包括：

輸送器單元，包括用于附著基底并且被構(gòu)造為與所述基底一起移動(dòng)的傳送單元、用于將附著有基底的傳送單元沿著第一方向移動(dòng)的第一輸送器單元和用于在已經(jīng)完成沉積之后將與基底分開的傳送單元沿著與第一方向相反的方向移動(dòng)的第二輸送器單元；以及

沉積單元，包括被構(gòu)造成保持在真空狀態(tài)下的室以及用于將有機(jī)層沉積在附著于傳送單元的基底上的有機(jī)層沉積組件，

其中，有機(jī)層沉積組件包括：

沉積源，用于排放沉積材料；

沉積源噴嘴單元，在沉積源的一側(cè)并包括多個(gè)沉積源噴嘴；

圖案化縫隙片，面對(duì)沉積源噴嘴單元并包括沿第一方向布置的多個(gè)圖案化縫隙；以及

沉積源快門，能夠沿第一方向移動(dòng)并被構(gòu)造為選擇性地阻擋在沉積源中蒸發(fā)的沉積材料，

其中，傳送單元被構(gòu)造為在第一輸送器單元和第二輸送器單元之間移動(dòng)，并被構(gòu)造為使附著的基底在被第一輸送器單元傳送的同時(shí)與有機(jī)層沉積組件分隔開。

2.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，有機(jī)層沉積組件還包括角度限定板，角度限定板在沉積源的一側(cè)以引導(dǎo)在沉積源中蒸發(fā)的沉積材料的流路徑。

3.如權(quán)利要求2所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，角度限定板圍繞沉積源的一部分。

4.如權(quán)利要求2所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，沉積源快門包括具有平板形狀的第一沉積源快門和第二沉積源快門，沉積源由于第一沉積源快門和第二沉積源快門的移動(dòng)而打開或關(guān)閉。

5.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，沉積源快門包括第一沉積源快門和第二沉積源快門，并且

其中，第一沉積源快門和第二沉積源快門中的每個(gè)包括平板部分和從平板部分彎曲的傾斜部分。

6.如權(quán)利要求5所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，槽在傾斜部分的一端并對(duì)應(yīng)于所述多個(gè)沉積源噴嘴中的一個(gè)。

7.如權(quán)利要求5所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，傾斜部分被構(gòu)造為引導(dǎo)在沉積源中蒸發(fā)的沉積材料的流路徑。

8.如權(quán)利要求5所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，沉積源由于第一沉積源快門和第二沉積源快門的移動(dòng)而打開或關(guān)閉。

9.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，所述有機(jī)層沉積設(shè)備還包括控制傳感器，控制傳感器在沉積源的一側(cè)，以測(cè)量在沉積源中蒸發(fā)的沉積材料的沉積速率。

10.如權(quán)利要求9所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，控制傳感器被構(gòu)造為在傳送單元與基底一起移動(dòng)的同時(shí)測(cè)量沉積材料的沉積速率，并且

其中，利用沉積速率來(lái)控制在沉積源中蒸發(fā)的沉積材料的蒸發(fā)量。

11.如權(quán)利要求10所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，控制由控制傳感器測(cè)量的沉積源的沉積速率，從而以目標(biāo)厚度在基底上沉積沉積材料。

12.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，第一輸送器單元和第二輸送器單元穿過(guò)沉積單元。

13.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，第一輸送器單元和第二輸送器單元平行地布置在彼此上方。

14.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，所述有機(jī)層沉積設(shè)備還包括：

加載單元，用于將基底附著到傳送單元；以及

卸載單元，用于將在穿過(guò)沉積單元的同時(shí)已經(jīng)對(duì)其完成了沉積的基底與傳送單元分開。

15.如權(quán)利要求14所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，第一輸送器單元被構(gòu)造為將傳送單元順序地傳遞至加載單元、沉積單元和卸載單元。

16.如權(quán)利要求14所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，第二輸送器單元被構(gòu)造為將傳送單元順序地傳遞至卸載單元、沉積單元和加載單元。

17.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，有機(jī)層沉積組件被構(gòu)造為使得從沉積源排放的沉積材料穿過(guò)圖案化縫隙片，并隨后被沉積在基底上，同時(shí)沉積材料在基底上形成圖案。

18.如權(quán)利要求1所述的有機(jī)層沉積設(shè)備，其中，有機(jī)層沉積組件的圖案化縫隙片在第一方向或與第一方向垂直的第二方向中的至少一個(gè)中比基底小。