[發明專利]邊界溫度控制陣列型波前控制裝置及其制造方法有效
| 申請號： | 201310300913.0 | 申請日： | 2013-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN103364944A | 公開（公告）日： | 2013-10-23 |
| 發明（設計）人： | 黃磊;鞏馬理;閆平;柳強;薛嶠;馮澤心;康少男;閆海波 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | G02B26/06 | 分類號： | G02B26/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知識產權代理有限公司 11002 | 代理人： | 王瑩 |
| 地址： | 100084 北京市海*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 邊界 溫度 控制 陣列 型波前 裝置 及其 制造 方法 | ||
1.一種邊界溫度控制陣列型波前控制裝置，其特征在于，包括：鏡片（1）、底座（2）、熱沉（3）以及加熱/制冷單元（4），其中，所述鏡片（1）安裝在所述底座（2）的一側，所述熱沉（3）以及加熱制冷單元（4）安裝在所述底座（2）的另一側。
2.根據權利要求1所述的邊界溫度控制陣列型波前控制裝置，其特征在于，所述鏡片（1）安裝在所述底座（2）上方，光束通過所述鏡片（1）的形變和折射率在不同區域的變化，使反射出的光束的波前陣面得到整形。
3.根據權利要求1或2所述的邊界溫度控制陣列型波前控制裝置，其特征在于，所述底座（2）的材質為與所述鏡片（1）線脹系數不同的材料。
4.根據權利要求1或2所述的邊界溫度控制陣列型波前控制裝置，其特征在于，所述鏡片（1）和所述底座（2）分別采用多層合為一體，且每層的材料不同。
5.根據權利要求1所述的邊界溫度控制陣列型波前控制裝置，其特征在于，所述熱沉（3）分布在各個加熱/制冷單元（4）之間，為加熱/制冷單元（4）提供邊界溫度恒定的局部溫度場。
6.根據權利要求1或5所述的邊界溫度控制陣列型波前控制裝置，其特征在于，所述熱沉（3）采用自身與空氣散熱，或者采用內部流通導熱液體并通過改變導熱液成份或熱沉內的局部導熱液流速，來改變局部區域內的邊界溫度場。
7.根據權利要求1所述的邊界溫度控制陣列型波前控制裝置，其特征在于，所述加熱/制冷單元（4）安裝在所述底座（2）下方，為所述底座（2）變形提供溫度變化。
8.根據權利要求1或7所述的邊界溫度控制陣列型波前控制裝置，其特征在于，所述加熱/制冷單元（4）粘貼在所述底座（2）表面，或者安裝在所述底座（2）內部。
9.根據權利要求8所述的邊界溫度控制陣列型波前控制裝置，其特征在于，所述加熱/制冷單元（4）在所述底座（2）的分布采用均布式和/或非均布式安裝。
10.一種邊界溫度控制陣列型波前控制裝置的制造方法，其特征在于，包括：
將鏡片（1）安裝在底座（2）上方；
在底座（2）下方安裝熱沉（3）；
在熱沉（3）的開孔內放置加熱/制冷單元（4）。
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