[發明專利]一種制備銅鋁碲薄膜的方法

有效

• 申請號: 201310300894.1
• 申請日: 2013-07-09
• 公開（公告）號: CN103396009A
• 公開（公告）日: 2013-11-20
• 發明（設計）人: 劉科高;高穩成;李靜;石磊;許斌
• 申請（專利權）人: 山東建筑大學
• 主分類號: C03C17/22
• 分類號: C03C17/22;H01L31/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種制備銅鋁碲薄膜的方法，包括如下步驟：?

a.玻璃基片的清洗；?

b.將0.8～1.5份CuCl₂·2H₂O、1.7～3.3份Al(NO₃)₃·9H₂O及0.749～2.404份TeO₂放入30～150份的溶劑中均勻混合；?

c.在勻膠機上吸附基片并在表面均勻涂抹步驟b所述溶液，后烘干，得到前驅體薄膜樣品；?

d.將步驟c所得前驅體薄膜樣品置于支架上，放入有1.791份水合聯氨的可密閉容器，使前驅體薄膜樣品不與水合聯氨接觸；將裝有前驅薄膜樣品的密閉容器放入烘箱中，加熱至160～220℃之間，保溫時間10～20小時，然后冷卻到室溫取出；?

e.將步驟d所得產物，進行干燥，得到銅鋁碲薄膜。

2.如權利要求1所述的一種制備銅鋁碲薄膜的方法，其特征在于，步驟a所述清洗，是將玻璃基片大小為2mm×2mm，按體積比放入三氯甲烷∶乙醇＝5∶1的溶液中，超聲波清洗；再將玻璃片放入丙酮∶蒸餾水＝5∶1的溶液中，超聲波清洗；再在蒸餾水中將玻璃基片用超聲振蕩；將上述得到的玻璃基片排放在玻璃皿中送入烘箱中烘干供制膜用。

3.如權利要求1所述的一種制備銅鋁碲薄膜的方法，其特征在于，步驟c所述均勻涂抹的基片，是在勻膠機上涂抹，勻膠機以200～3500轉/分旋轉，然后對基片進行烘干后，再次如此重復5～15次，得到了一定厚度的前驅體薄膜樣品。?