[發明專利]一種高致密度大尺寸AZO靶材坯體的成型工藝有效
| 申請號： | 201310297639.6 | 申請日： | 2013-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN103332929A | 公開（公告）日： | 2013-10-02 |
| 發明（設計）人： | 牟詩城;舒永春;韓凌云;曾學云 | 申請（專利權）人： | 國家納米技術與工程研究院 |
| 主分類號： | C04B35/453 | 分類號： | C04B35/453;C04B35/622 |
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| 地址： | 300457 天津市經*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 致密 尺寸 azo 靶材坯體 成型 工藝 | ||
1.一種高致密度大尺寸AZO靶材坯體的成型方法，其包括以下步驟：首先將ZnO和Al2O3超微粉混合造粒后，加去離子水、分散劑、固化劑和表面活性劑進行混合制漿，注入模具內成型，經過干燥、脫蠟后，得到相對密度為65％-75％的高密度大尺寸的AZO靶材坯體。
2.按照權利要求1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：氧化鋅和氧化鋁超微粉混合后氧化鋁占總粉體質量的1-3wt％(質量分數)。
3.按照權利要求1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：上述造粒方式為噴霧造粒，造粒后混合粉體的平均粒度在5μm-30μm(微米)，粉體流動性：60s(秒)/50g(克)-90s(秒)/50g(克)。
4.按照權利要求1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：上述去離子水的加入量為造粒后混合粉體質量的15-40wt％(質量分數)。
5.按照權利要求1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：上述分散劑為丙烯酰胺，其加入量為混合粉體質量的0.5-1.5wt％(質量分數)。
6.按照權利要求1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：上述固化劑為阿拉伯樹膠粉，其加入量為混合粉體質量的0.1-1wt％(質量分數)。
7.按照權利要求1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：上述表面活性劑為無水乙醇，其加入量為混合粉體質量的0.5-2wt％(質量分數)。
8.按照權利要求1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：上述試劑可依順序依次添加到粉體中，也可將試劑與去離子水混合成溶液后一起加入到粉料中。
9.按照權利要求1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：上述混合制漿方式為滾筒真空球磨，球磨時間為1h-5h(小時)。
10.按照權利要求1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：上述注漿過程在真空環境下進行。
11.按照權利1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：上述干燥過程在恒溫恒濕環境下進行，相對濕度：30％-70％，溫度：30℃-50℃(攝氏度)。當坯體恒重時將其進行脫蠟。
12.按照權利1所述的制備高致密度大尺寸AZO靶材坯體的方法，其特征是：上述脫蠟溫度在脫蠟爐中進行，脫蠟溫度：100℃-500℃(攝氏度)，升溫速度：3℃-5℃(攝氏度)/min(分鐘)，最高溫度保溫時間：2h-5h(小時)。
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