[發明專利]微機械結構、尤其是傳感器裝置和對應的運行方法

有效

• 申請號: 201310297234.2
• 申請日: 2013-07-16
• 公開（公告）號: CN103539061A
• 公開（公告）日: 2014-01-29
• 發明（設計）人: J.克拉森;M.哈塔斯;L.特布杰;D.C.邁澤爾
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/02;G01C19/5733;G01P15/08
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張濤;劉春元

1.微機械結構、尤其是傳感器裝置，具有：

至少一個微機械的功能層(100,101)；

設置在所述至少一個微機械的功能層(100,101)下方的、具有至少一個可配置的電路裝置(PS)的CMOS襯底區域(700)；

設置在所述至少一個微機械的功能層(100,101)和所述CMOS襯底區域(700)之間并且電連接到所述微機械的功能層(100,101)和所述電路裝置(PS)上的一個或多個接觸元件(30,30',30)的裝置，

其中，所述可配置的電路裝置(PS)被設計為，使得所述一個或多個接觸元件(30,30',30)可選擇性地與所述CMOS襯底區域(700)中的電連接線路(L1,L2,L3)連接。

2.根據權利要求1所述的微機械結構、尤其是傳感器裝置，其中設置所述第一微機械的功能層(100)，所述第一微機械的功能層具有可運動的MEMS元件(7')和MEMS定子元件(4')，并且其中接觸元件(30)連接到所述可運動的MEMS元件(7')和/或所述MEMS定子元件(4')上。

3.根據權利要求2所述的微機械結構、尤其是傳感器裝置，其中所述第一微機械的功能層(100)具有一個或多個不可運動的第一MEMS元件(7a')，其中所述可運動的MEMS元件(7')具有一個或多個間隙(Z)，在所述一個或多個間隙內設置所述一個或多個不可運動的第一MEMS元件(7a')并且其中所述一個或多個不可運動的第一MEMS元件(7a')分別連接到接觸元件(30')上。

4.根據權利要求2或3之一所述的微機械結構、尤其是傳感器裝置，其中設置第二微機械的功能層(101)，所述第二微機械的功能層設置在所述第一微機械的功能層(100)下方，其中所述第二微機械的功能層(101)具有一個或多個不可運動的第二MEMS元件(7a')并且其中所述一個或多個不可運動的第二MEMS元件(7a)分別連接到接觸元件(30)上。

5.根據權利要求4所述的微機械結構，尤其是傳感器裝置，其中所述一個或多個不可運動的第二MEMS元件(7a)與可運動的MEMS元件(7')有間隔地設置在所述可運動的MEMS元件(7')下方。

6.根據以上權利要求中任一項所述的微機械結構、尤其是傳感器裝置，其中在所述CMOS襯底區域(700)和所述至少一個微機械的功能層(100,101)之間設置襯底覆鍍通孔區域(700')，在所述覆鍍通孔區域上方設置第一導電連接區域(500')，所述接觸元件(30，30'，30)連接到所述第一導電連接區域上，以及其中第二導電連接區域(700)被引導通過所述襯底覆鍍通孔區域(700')，所述第二導電連接區域連接到所述電路裝置(PS)上以及所述第一導電連接區域(500')上。

7.根據以上權利要求中任一項所述的微機械結構，尤其是傳感器裝置，其中所述電路裝置(PS)具有可通過控制連接端(S)編程的門陣列。

8.根據以上權利要求中任一項所述的微機械結構、尤其是傳感器裝置，其被構造為加速度傳感器或轉速傳感器。

9.用于運行根據以上權利要求中任一項所述的微機械結構、尤其是傳感器裝置的運行方法，其中重新編程電路裝置(PS)，以便抵消老化效應和/或環境效應。

10.根據權利要求9的運行方法，其中所述環境效應是溫度效應。